Технологические комплексы наноэлектроники. Аналитические и технологические методы контроля и изготовления микро- и наноструктур.
Синхротронное излучение и наносистемы. Интерференционная рентгенолитография, формирование упорядоченных наноструктур
Сверхпроводниковая электроника. Перспективы развития, цифровые системы приема и обработки информации
Сканирующая зондовая микроскопия. Прецизионные измерения, нанометрология, нанотехнологии "снизу-вверх"
Наноструктуры и наносистмемы. Исследование кинетики формирования

sitemap

Разработка: студия Green Art