eng
Adress to readers
Обращение к читателям
V. Shpak
VECTORS FOR THE DEVELOPMENT OF DOMESTIC ELECTRONICS IN A GLOBAL CONTEXT DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.14.19
VECTORS FOR THE DEVELOPMENT OF DOMESTIC ELECTRONICS IN A GLOBAL CONTEXT DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.14.19
В. Шпак
ВЕКТОРЫ РАЗВИТИЯ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ В ГЛОБАЛЬНОМ КОНТЕКСТЕ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.14.19
ВЕКТОРЫ РАЗВИТИЯ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ В ГЛОБАЛЬНОМ КОНТЕКСТЕ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.14.19
Competent opinion
Компетентное мнение
M. Vakshtein
PLANNING THE DEVELOPMENT OF THE INDUSTRY AND BUILDING EFFECTIVE COOPERATION CHAINS IS LABORIOUS WORK ON WHICH THE FUTURE OF THE COUNTRY DEPENDS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.20.27
PLANNING THE DEVELOPMENT OF THE INDUSTRY AND BUILDING EFFECTIVE COOPERATION CHAINS IS LABORIOUS WORK ON WHICH THE FUTURE OF THE COUNTRY DEPENDS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.20.27
М. Вакштейн
ПЛАНИРОВАНИЕ РАЗВИТИЯ ОТРАСЛИ И ВЫСТРАИВАНИЕ ЭФФЕКТИВНЫХ КООПЕРАЦИОННЫХ ЦЕПОЧЕК – ТРУДОЕМКАЯ РАБОТА, ОТ КОТОРОЙ ЗАВИСИТ БУДУЩЕЕ СТРАНЫ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.20.27
ПЛАНИРОВАНИЕ РАЗВИТИЯ ОТРАСЛИ И ВЫСТРАИВАНИЕ ЭФФЕКТИВНЫХ КООПЕРАЦИОННЫХ ЦЕПОЧЕК – ТРУДОЕМКАЯ РАБОТА, ОТ КОТОРОЙ ЗАВИСИТ БУДУЩЕЕ СТРАНЫ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.20.27
S. Gavrilov
HOW TO BUILD BRIDGES BETWEEN SCIENTIFIC RESEARCHES AND SERIAL PRODUCTION DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.28.32
HOW TO BUILD BRIDGES BETWEEN SCIENTIFIC RESEARCHES AND SERIAL PRODUCTION DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.28.32
С. Гаврилов
КАК НАВОДЯТСЯ МОСТЫ МЕЖДУ НАУЧНЫМИ ИССЛЕДОВАНИЯМИ И СЕРИЙНЫМ ПРОИЗВОДСТВОМ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.28.32
КАК НАВОДЯТСЯ МОСТЫ МЕЖДУ НАУЧНЫМИ ИССЛЕДОВАНИЯМИ И СЕРИЙНЫМ ПРОИЗВОДСТВОМ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.28.32
P. Kutsko
THE SUCCESS AND PRESTIGE OF THE RUSSIAN ELECTRONICS INDUSTRY DEPENDS ON ALL OF US DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.34.38
THE SUCCESS AND PRESTIGE OF THE RUSSIAN ELECTRONICS INDUSTRY DEPENDS ON ALL OF US DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.34.38
П. Куцько
УСПЕХ И ПРЕСТИЖ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ ЗАВИСИТ ОТ НАС ВСЕХ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.34.38
УСПЕХ И ПРЕСТИЖ ОТЕЧЕСТВЕННОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ ЗАВИСИТ ОТ НАС ВСЕХ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.34.38
Rules and Regulations
Нормативное регулирование
ENHANCEMENT OF LEGISLATION FOR PRICE SETTING OF PRODUCTS SUPPLIED UNDER THE STATE DEFENSE ORDER MEETING OF THE MILITARY AND INDUSTRIAL POLICY AND BUDGET SECTION OF THE EXPERT COUNCIL OF THE FEDERATION COUNCIL COMMITTEE ON DEFENSE AND SECURITY
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.48.54
СОВЕРШЕНСТВОВАНИЕ ЗАКОНОДАТЕЛЬСТВА В СФЕРЕ ЦЕНООБРАЗОВАНИЯ НА ПРОДУКЦИЮ, ПОСТАВЛЯЕМУЮ ПО ГОЗ ЗАСЕДАНИЕ СЕКЦИИ ПО ВОЕННО-ПРОМЫШЛЕННОЙ ПОЛИТИКЕ И БЮДЖЕТУ ЭКСПЕРТНОГО СОВЕТА ПРИ КОМИТЕТЕ СОВЕТА ФЕДЕРАЦИИ ПО ОБОРОНЕ И БЕЗОПАСНОСТИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.48.54
Exhibitions & Conferences
Выставки и конференции
NEWS
НОВОСТИ
Information and telecommunication systems
Информационные и телекоммуникационные системы
I. Korneev, Z. Kondrashov, A. Korneev, A. Kletsov
DEPLOYMENT OF A LOCAL NAVIGATION SYSTEM OUTSIDE THE PERIMETER OF THE RADIO NAVIGATION REFERENCE STATION NETWORK UNDER INTERFERENCE CONDITIONS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.102.105
The article considers the provision of navigation for CONSUL system abonent, remote from the reference station within direct radio visibility, under the influence of an artificial interference source. A formula for the power of an interference source capable of suppressing a signal is derived.
DEPLOYMENT OF A LOCAL NAVIGATION SYSTEM OUTSIDE THE PERIMETER OF THE RADIO NAVIGATION REFERENCE STATION NETWORK UNDER INTERFERENCE CONDITIONS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.102.105
The article considers the provision of navigation for CONSUL system abonent, remote from the reference station within direct radio visibility, under the influence of an artificial interference source. A formula for the power of an interference source capable of suppressing a signal is derived.
И. Корнеев, З. Кондрашов, А. Корнеев, А. Клецов
РАЗВЕРТЫВАНИЕ ЛОКАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ НАВИГАЦИИ ВНЕ ПЕРИМЕТРА СЕТИ РАДИОНАВИГАЦИОННЫХ ОПОРНЫХ СТАНЦИЙ В УСЛОВИЯХ ВОЗДЕЙСТВИЯ ПОМЕХ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.102.105
Рассмотрено обеспечение навигации абонента системы КОНСУЛ, удаленного от РОС в пределах прямой радиовидимости, при воздействии источника искусственных помех. Выведена формула мощности источника помех, способных подавить сигнал.
РАЗВЕРТЫВАНИЕ ЛОКАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ НАВИГАЦИИ ВНЕ ПЕРИМЕТРА СЕТИ РАДИОНАВИГАЦИОННЫХ ОПОРНЫХ СТАНЦИЙ В УСЛОВИЯХ ВОЗДЕЙСТВИЯ ПОМЕХ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.102.105
Рассмотрено обеспечение навигации абонента системы КОНСУЛ, удаленного от РОС в пределах прямой радиовидимости, при воздействии источника искусственных помех. Выведена формула мощности источника помех, способных подавить сигнал.
Теги: calculator program consul system interference source local navigation system reference station источник помех лнс программа-калькулятор рос система консул
Manufacturing equipment and process materials
Технологическое оборудование и материалы
I. Mandrik, I. Novozhilov
EQUIPMENT AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR DIE MOUNTING DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.76.83
The article discusses equipment for high-precision mounting of semiconductor dies and the requirements imposed on it, and also provides information on various methods
of die mounting.
EQUIPMENT AND METHODS FOR SEMICONDUCTOR DIE MOUNTING DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.76.83
The article discusses equipment for high-precision mounting of semiconductor dies and the requirements imposed on it, and also provides information on various methods
of die mounting.
И. Мандрик, И. Новожилов
ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДЫ МОНТАЖА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.76.83
Рассмотрено оборудование для высокоточного монтажа полупроводниковых кристаллов и предъявляемые к нему требования, а также приведена информация о различных методах монтажа кристаллов.
ОБОРУДОВАНИЕ И МЕТОДЫ МОНТАЖА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ КРИСТАЛЛОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.76.83
Рассмотрено оборудование для высокоточного монтажа полупроводниковых кристаллов и предъявляемые к нему требования, а также приведена информация о различных методах монтажа кристаллов.
CAD
Системы проектирования
A.V. Strogonov, A. Vinokurov, A.I. Strogonov, A. Arsentiev
DEVELOPMENT OF A MULTI-CYCLE RISC-V MICROPROCESSOR CORE FOR IMPLEMENTATION ON THE CYCLONE V FPGA BASIS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.96.100
The article discusses the development of a multi-cycle RISC-V microprocessor core with a control machine created using State Machine Editor in the Altera Quartus II CAD system for subsequent implementation on the Cyclone V series FPGA basis.
DEVELOPMENT OF A MULTI-CYCLE RISC-V MICROPROCESSOR CORE FOR IMPLEMENTATION ON THE CYCLONE V FPGA BASIS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.96.100
The article discusses the development of a multi-cycle RISC-V microprocessor core with a control machine created using State Machine Editor in the Altera Quartus II CAD system for subsequent implementation on the Cyclone V series FPGA basis.
А.В. Строгонов, А. Винокуров, А.И. Строгонов, А. Арсентьев
РАЗРАБОТКА МНОГОТАКТНОГО МИКРОПРОЦЕССОРНОГО ЯДРА RISC-V ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ В БАЗИСЕ ПЛИС CYCLONE V DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.96.100
В статье рассматриваются вопросы разработки многотактного микропроцессорного ядра RISC-V с управляющим автоматом, созданным с помощью редактора конечных автоматов
(State Machine Editor) в САПР Altera Quartus II для последующей реализации в базисе ПЛИС серии Cyclone V.
РАЗРАБОТКА МНОГОТАКТНОГО МИКРОПРОЦЕССОРНОГО ЯДРА RISC-V ДЛЯ РЕАЛИЗАЦИИ В БАЗИСЕ ПЛИС CYCLONE V DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.96.100
В статье рассматриваются вопросы разработки многотактного микропроцессорного ядра RISC-V с управляющим автоматом, созданным с помощью редактора конечных автоматов
(State Machine Editor) в САПР Altera Quartus II для последующей реализации в базисе ПЛИС серии Cyclone V.
Теги: altera quartus ii cad cyclone v fpga risc-v architecture state machine editor архитектура risc-v плис cyclone v редактор конечных автоматов сапр altera quartus ii
Microwave electronics
СВЧ-электроника
K. Dzhurinsky
FOREIGN VERTICAL RF CONNECTORS FOR SOLDERLESS PCB MOUNTING The article analyzes the design features of vertical microwave compression connectors for surface mounting without soldering on printed circuit boards. The advantages and disadvantages of these connectors are shown. Vertical connectors from USA, Europe and Southeast Asia are considered.
FOREIGN VERTICAL RF CONNECTORS FOR SOLDERLESS PCB MOUNTING The article analyzes the design features of vertical microwave compression connectors for surface mounting without soldering on printed circuit boards. The advantages and disadvantages of these connectors are shown. Vertical connectors from USA, Europe and Southeast Asia are considered.
К. Джуринский
ЗАРУБЕЖНЫЕ ВЕРТИКАЛЬНЫЕ РАДИОЧАСТОТНЫЕ СОЕДИНИТЕЛИ ДЛЯ УСТАНОВКИ НА ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ БЕЗ ПАЙКИ Проанализированы особенности конструкции вертикальных компрессионных соединителей СВЧ-диапазона для поверхностного монтажа без пайки на печатные платы. Показаны преимущества и недостатки этих соединителей. Рассмотрены вертикальные соединители США, Европы
и Юго-Восточной Азии.
ЗАРУБЕЖНЫЕ ВЕРТИКАЛЬНЫЕ РАДИОЧАСТОТНЫЕ СОЕДИНИТЕЛИ ДЛЯ УСТАНОВКИ НА ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ БЕЗ ПАЙКИ Проанализированы особенности конструкции вертикальных компрессионных соединителей СВЧ-диапазона для поверхностного монтажа без пайки на печатные платы. Показаны преимущества и недостатки этих соединителей. Рассмотрены вертикальные соединители США, Европы
и Юго-Восточной Азии.
Теги: compression vertical connectors printed circuit boards rf connectors компрессионные вертикальные соединители печатные платы радиочастотные соединители
Microprocessors and FPGAs
Микропроцессоры и ПЛИС
V. Ezhov
REVIEW OF MICROCONTROLLERS FROM NIIET JSC AND PKK MILANDR JSC DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.84.92
The article presents an overview of microcontrollers produced by leading Russian companies developing integrated circuits – JSC NIIET and JSC PKK Milandr.
REVIEW OF MICROCONTROLLERS FROM NIIET JSC AND PKK MILANDR JSC DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.84.92
The article presents an overview of microcontrollers produced by leading Russian companies developing integrated circuits – JSC NIIET and JSC PKK Milandr.
В. Ежов
ОБЗОР МИКРОКОНТРОЛЛЕРОВ АО «НИИЭТ» И АО «ПКК МИЛАНДР» DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.84.92
В статье представлен обзор микроконтроллеров, выпускаемых ведущими российскими компаниями-разработчиками интегральных схем – АО «НИИЭТ» и АО «ПКК Миландр».
ОБЗОР МИКРОКОНТРОЛЛЕРОВ АО «НИИЭТ» И АО «ПКК МИЛАНДР» DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.84.92
В статье представлен обзор микроконтроллеров, выпускаемых ведущими российскими компаниями-разработчиками интегральных схем – АО «НИИЭТ» и АО «ПКК Миландр».
Теги: eeprom flash memory microcontroller processor core ram risc/risc-v architecture архитектура risc/risc-v микроконтроллер озу процессорное ядро флеш-память
D. Chizhikov
NAVIGATION DESIGNS OF STC MODULE JSC: DEVELOPMENT PROSPECTS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.94.95
The article presents a family of navigation modules developed
by STC Module JSC. The series features a universal design
ensuring the interchangeability of single-frequency, dual-frequency and triple-frequency modules without changing the printed circuit board topology. The prospects for the development of production of this equipment are considered.
NAVIGATION DESIGNS OF STC MODULE JSC: DEVELOPMENT PROSPECTS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.94.95
The article presents a family of navigation modules developed
by STC Module JSC. The series features a universal design
ensuring the interchangeability of single-frequency, dual-frequency and triple-frequency modules without changing the printed circuit board topology. The prospects for the development of production of this equipment are considered.
Д. Чижиков
НАВИГАЦИОННЫЕ РАЗРАБОТКИ АО НТЦ «МОДУЛЬ»: ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.94.95
Представлено семейство навигационных модулей, разработанных АО НТЦ «Модуль». Данная серия отличается универсальной конструкцией, обеспечивающей взаимозаменяемость одночастотных, двухчастотных и трехчастотных модулей без изменения топологии платы. Рассмотрены перспективы развития производства данного оборудования.
НАВИГАЦИОННЫЕ РАЗРАБОТКИ АО НТЦ «МОДУЛЬ»: ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.94.95
Представлено семейство навигационных модулей, разработанных АО НТЦ «Модуль». Данная серия отличается универсальной конструкцией, обеспечивающей взаимозаменяемость одночастотных, двухчастотных и трехчастотных модулей без изменения топологии платы. Рассмотрены перспективы развития производства данного оборудования.
Теги: form factor navigation module signal processor surface mount навигационный модуль поверхностный монтаж сигнальный процессор форм-фактор
Reliability and tests
Надежность и испытания
S. Efimenko, N. Kovalchuk, V. Smolich
FEATURES OF BURN-IN TESTING OF SEMICONDUCTOR ELECTRONICS PRODUCTS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.118.125
The article provides an overview and classification of equipment for burn-in testing in small-scale and serial production at electronics industry enterprises, as well as during incoming inspection at consumers. The main characteristics of burn-in test systems manufactured by domestic enterprises are presented.
FEATURES OF BURN-IN TESTING OF SEMICONDUCTOR ELECTRONICS PRODUCTS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.118.125
The article provides an overview and classification of equipment for burn-in testing in small-scale and serial production at electronics industry enterprises, as well as during incoming inspection at consumers. The main characteristics of burn-in test systems manufactured by domestic enterprises are presented.
С. Ефименко, Н. Ковальчук, В. Смолич
ОСОБЕННОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ЭЛЕКТРОТЕРМОТРЕНИРОВКИ ИЗДЕЛИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.118.125
В статье приведен обзор и классификация оборудования для проведения электротермотренировки при мелкосерийном и серийном производстве на предприятиях электронной промышленности, а также при входном контроле у потребителей. Представлены основные характеристики стендов ЭТТ, выпускаемых отечественными предприятиями.
ОСОБЕННОСТИ ПРОВЕДЕНИЯ ЭЛЕКТРОТЕРМОТРЕНИРОВКИ ИЗДЕЛИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.118.125
В статье приведен обзор и классификация оборудования для проведения электротермотренировки при мелкосерийном и серийном производстве на предприятиях электронной промышленности, а также при входном контроле у потребителей. Представлены основные характеристики стендов ЭТТ, выпускаемых отечественными предприятиями.
Теги: burn-in testing burn-in test system detection of hidden defects failure rate intermittent failures выявление скрытых дефектов интенсивность отказов перемежающиеся отказы стенд этт электротермотренировка
O. Chuprinova, Ya. Shchenikov
HARDWARE AND SOFTWARE COMPLEX FOR INTELLIGENT DIAGNOSTICS OF FAULTS IN ELECTRONIC ASSEMBLY UNITS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.128.131
The article presents a hardware and software complex for intelligent diagnostics of faults in electronic assembly units using thermal imaging inspection method. The proposed solution includes Python software for data collection and processing. The developed complex
will allow for quick and effective detection of manufacturing defects.
HARDWARE AND SOFTWARE COMPLEX FOR INTELLIGENT DIAGNOSTICS OF FAULTS IN ELECTRONIC ASSEMBLY UNITS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.128.131
The article presents a hardware and software complex for intelligent diagnostics of faults in electronic assembly units using thermal imaging inspection method. The proposed solution includes Python software for data collection and processing. The developed complex
will allow for quick and effective detection of manufacturing defects.
О. Чупринова, Я. Щеников
ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ ДИАГНОСТИКИ НЕИСПРАВНОСТЕЙ ЭЛЕКТРОННЫХ СБОРОЧНЫХ УЗЛОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.128.131
В статье представлен программно-аппаратный комплекс для интеллектуальной диагностики неисправностей электронных сборочных узлов методом теплового контроля. Предложенное решение включает программное обеспечение на языке Python для сбора и обработки данных. Разработанный комплекс позволит быстро и эффективно выявлять производственные дефекты.
ПРОГРАММНО-АППАРАТНЫЙ КОМПЛЕКС ДЛЯ ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ ДИАГНОСТИКИ НЕИСПРАВНОСТЕЙ ЭЛЕКТРОННЫХ СБОРОЧНЫХ УЗЛОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.128.131
В статье представлен программно-аппаратный комплекс для интеллектуальной диагностики неисправностей электронных сборочных узлов методом теплового контроля. Предложенное решение включает программное обеспечение на языке Python для сбора и обработки данных. Разработанный комплекс позволит быстро и эффективно выявлять производственные дефекты.
Теги: electronic assembly units intelligent diagnostics thermal imaging inspection method thermogram интеллектуальная диагностика метод теплового контроля термограмма электронные сборочные узлы
Production technologies
Производственные технологии
P. Varlamov
FOUR WAYS TO DECAPSULATE SEMICONDUCTOR DEVICES DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.70.74
Decapsulation is the removal of the component package without damaging the internal structure of the product and maintaining its functionality. The article discusses modern methods of decapsulation of semiconductor devices, their advantages and disadvantages, and methods of application.
FOUR WAYS TO DECAPSULATE SEMICONDUCTOR DEVICES DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.70.74
Decapsulation is the removal of the component package without damaging the internal structure of the product and maintaining its functionality. The article discusses modern methods of decapsulation of semiconductor devices, their advantages and disadvantages, and methods of application.
П. Варламов
ЧЕТЫРЕ СПОСОБА ДЕКАПСУЛЯЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.70.74
Декапсуляция – это удаление корпуса компонента без повреждения внутренней структуры изделия и с сохранением работоспособности. В статье рассмотрены современные методы декапсуляции полупроводниковых приборов, их достоинства и недостатки, способы применения.
ЧЕТЫРЕ СПОСОБА ДЕКАПСУЛЯЦИИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.70.74
Декапсуляция – это удаление корпуса компонента без повреждения внутренней структуры изделия и с сохранением работоспособности. В статье рассмотрены современные методы декапсуляции полупроводниковых приборов, их достоинства и недостатки, способы применения.
Теги: декапсуляция полупроводниковых приборов лазер механическое воздействие микроволновая плазма химическое травление
V. Lelyaev
MODERN METHODS OF REMOVING CONTAMINANTS FROM SUBSTRATES IN MICROELECTRONICS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.64.68
The article discusses methods of liquid and dry cleaning of semiconductor substrates, features of the technological process and the equipment used.
MODERN METHODS OF REMOVING CONTAMINANTS FROM SUBSTRATES IN MICROELECTRONICS DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.64.68
The article discusses methods of liquid and dry cleaning of semiconductor substrates, features of the technological process and the equipment used.
В. Леляев
СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ПОДЛОЖЕК В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.64.68
В статье обсуждаются методы жидкостной и сухой очистки полупроводниковых подложек, особенности технологического процесса и применяемого оборудования.
СОВРЕМЕННЫЕ МЕТОДЫ УДАЛЕНИЯ ЗАГРЯЗНЕНИЙ С ПОДЛОЖЕК В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ DOI: 10.22184/1992-4178.2025.242.1.64.68
В статье обсуждаются методы жидкостной и сухой очистки полупроводниковых подложек, особенности технологического процесса и применяемого оборудования.