eng
Выпуск #7/2024
С. Дубяга, И. Козырев
ВАЖЕН КАЖДЫЙ АТОМ: ПРИМЕНЕНИЕ ВЫСОКОЧИСТЫХ ГАЗОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
ВАЖЕН КАЖДЫЙ АТОМ: ПРИМЕНЕНИЕ ВЫСОКОЧИСТЫХ ГАЗОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
Просмотры: 160
DOI: 10.22184/1992-4178.2024.238.7.190.191
ООО «Фирма «ХОРСТ» является основным поставщиком высокочистой газовой продукции для микроэлектронной промышленности России и Беларуси, располагая собственными производственными мощностями. В статье рассмотрены особенности технологий получения и глубокой очистки газов, применяемых в производстве полупроводниковых материалов.
Теги: high-purity gases reaction-rectification unit zero-waste production безотходное производство высокочистые газы реакционно-ректификационная установка
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
ООО «Фирма «ХОРСТ» является основным поставщиком высокочистой газовой продукции для микроэлектронной промышленности России и Беларуси, располагая собственными производственными мощностями. В статье рассмотрены особенности технологий получения и глубокой очистки газов, применяемых в производстве полупроводниковых материалов.
Теги: high-purity gases reaction-rectification unit zero-waste production безотходное производство высокочистые газы реакционно-ректификационная установка
Подпишитесь на журнал, чтобы прочитать полную версию статьи.
Отзывы читателей
