"Плазма 150А" – первая отечественная установка плазменного удаления фоторезиста, оснащенная реактором индуктивно связанной плазмы (ICP). Установка позволяет удалять фоторезист с пластин диаметром 150 мм без радиационных повреждений обрабатываемой поверхности с неравномерностью ±3,5% и производительностью 50 пластин/ч.

sitemap

Разработка: студия Green Art