Принято считать, что история развития технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС) стартовала в 1954 году, когда в германии и кремнии был открыт пьезорезистивный эффект, на основе которого впоследствии были созданы первые датчики давления и ускорения. Массовое производство первого датчика давления, выполненного по МЭМС-технологии, было освоено компанией National Semiconductor в 1974 году, а начало производства МЭМС-датчиков давления и акселерометров для подушек безопасности автомобилей в мировом масштабе относится к началу 1990-х годов. В истории развития МЭМС-технологий отсчетным можно считать еще более раннее событие, а именно изобретение в 1947 году транзистора, который является основой современной микроэлектроники. За эти годы в области МЭМС-технологий и устройств были достигнуты значительные успехи.

sitemap

Разработка: студия Green Art