eng
Выпуск #3/2008
Рассказывает генеральный директор НПП "ЭСТО" В.Б.Разумов
Современное отечественное технологическое оборудование: успехи и проблемы.
Современное отечественное технологическое оборудование: успехи и проблемы.
Просмотры: 3527
Виталий Борисович Разумов окончил факультет электронной техники Московского энергетического института (с красным дипломом) в 1988 году. С 1991 по 1993 год – директор направления в компании "Электронмашсервис". В 1993 году стал генеральным директором ЗАО "Электронсервис", в 2002 году возглавил и ЗАО "НПП "ЭСТО".
Виталий Борисович, как формировалась группа компаний "ЭСТО"?
Группа компаний "ЭСТО" (электронное специальное технологическое оборудование) – это объединение российских компаний, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и послепродажном обслуживании специального технологического оборудования. В 1993 году на базе пуско-наладочной организации Министерства электронной промышленности (МЭП) было образовано ЗАО "Электронсервис". Его деятельность начиналась с поставок бывшего в употреблении оборудования с его широкой модернизацией, инсталляцией и последующим сервисом. Основная специализация компании "Электронсервис" сегодня – инжиниринговые услуги по подготовке и обеспечению производственных процессов изготовления изделий электронной техники и смежных отраслей.
В том же 1993 году группой ведущих специалистов НИИ "Зенит" был образован научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ". С 1991 по 1996 год эта компания была ориентирована на производство лазеров и комплектующих для них. Но уже с 1996 года акценты стали смещаться в область разработки и производства лазерных систем для обработки материалов. С 1997 по 2002 год было создано и запущено в серию новое поколение лазерного технологического оборудования серии МЛ.
В те же годы действовала и самостоятельная группа разработчиков вакуумной техники и ионно-плазменных технологий, занимавшаяся на нескольких предприятиях созданием образцов вакуумной техники. В 2002 году они объединились и образовали компанию "ЭСТО"-вакуум" по разработке специализированного вакуумного оборудования для напыления и травления различных материалов.
В 2002 году была образована совместная структура – "Научно-производственное предприятие "ЭСТО", объединившая все эти компании. Изначально предполагалось, что одним из акционеров НПП "ЭСТО" будет завод "Ангстрем", который войдет долей капитала в виде площадей. Но "Ангстрем" отказался от этой идеи и продал нам под производственные площади то здание, в котором сегодня располагается компания. С 2002 по 2005 год эти площади оснащались современными инженерными коммуникациями и оборудованием.
В 2006 году была создана инновационная фирма "НИИ "ЭСТО", год назад получившая статус резидента свободной экономической зоны "Зеленоград". Этот проект ориентирован на разработку новейших лазерных и вакуумных технологий, создание образцов оборудования нового поколения, выстраивание связей и механизмов, стимулирующих инновационное развитие отечественного электронного машиностроения.
Отмечу, что основные акционеры всех предприятий группы компаний "ЭСТО" – частные лица, государственного капитала у нас нет вообще. Но вопрос участия государственных компаний в "ЭСТО" рассматривается. Без партнерства с государственными структурами нам будет очень тяжело, тем более с вхождением в технико-внедренческую зону. Поэтому мы готовы привлечь государственных инвесторов.
Какое оборудование производят столь разнопрофильные компании?
Все наши компании занимаются одним – технологическим оборудованием. От модернизации импортного или российского оборудования до производства нового. Так, компания "Лазеры и аппаратура ТМ" производит оборудование лазерной обработки. Серийно выпускается лазерное оборудование для микрообработки, гравировки и маркировки, сварки и размерной обработки, резки и раскроя, а также для подгонки резисторов – тонко- и толстопленочных. Машины раскроя металлов и других материалов оснащены большими координатными столами с линейными приводами, позволяющими обрабатывать материалы с высокой скоростью и точностью.
Кроме того, ведутся серьезные работы в области лазерной микрообработки, в том числе медицинских инструментов, включая хирургические иглы. Разрабатываются машины лазерного управляемого теромраскалывания – это очень перспективное направление, где есть серьезный научный задел. Создаются машины на волоконных высокомощных лазерах, позволяющих раскраивать материалы с высокой скоростью.
В области вакуумной техники мы выпускаем современное полностью автоматическое оборудование – магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулированного осаждения. Разработана серия машин Caroline – производится семь моделей в 12 модификациях. Среди них три типа установок магнетронного напыления, в том числе двухстороннего (металлов, резистивных слоев, кремния и т.п.) на полупроводниковые и диэлектрические подложки. Установки позволяют осаждать и толстые слои металла – до 15 мкм и более.
В серию Carolina также входят установки травления – ионно-лучевого, плазмохимического, ионнохимического. Шлюзовая установка Caroline PECVD15 предназначена для плазмостимулированного осаждения диэлектрических слоев. Возможно травление тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских подложках диаметром до 200 мм. Например, установки травления кварца поставлены таким предприятиям, как ВНИИЭФ (Саров), НПП "Полет" (Нижний Новгород), установки обработки кремния – ВНИИ "Автоматика".
В основном потребителями вакуумных установок выступают производители гибридных микросхем, а также предприятия традиционной микроэлекроники для напыления тонких слоев металла – меди, титана, алюминия и т.п. Такое оборудование работает в ОАО "Орбита" (Саранск), на заводе "Старт" (Заречный), на ОАО "РПКБ" (Раменское) и т.д. Недавно к нам обратились представители Рязанского приборного завода – они работали на импортном оборудовании напыления, а теперь переходят на наше, поскольку оно оказалось лучше. Ведутся переговоры о поставке нашего вакуумного оборудования на "Исток" и "Пульсар". И это – лишь отдельные примеры среди российских компаний.
Кроме того, мы выпускаем оборудование дисковой резки и микросварки (контактной и ультразвуковой). Оно производится на арендуемых площадях (порядка 1,5 тыс. м2) в технопарке "Цвет" на территории бывшего завода "Хроматрон". Все эти машины – полуавтоматические.
НПП "ЭСТО" в основном поставляет оборудование собственного производства. Но есть направления модернизации существующего оборудования. В частности, мы занимаемся глубокой модернизацией термического оборудования для микроэлектроники. Модернизация включает замену систем электронного управления, газонапуска, поддержания температуры – от старой печи остается только станина и термокамера, все остальное – наше. В результате получается фактически новая печь. Сейчас новые системы управления печами работают на "Интеграле" в Минске, на "Микроне", ФГУП "НПО ИТ" (Королев) идет полная модернизация четырех печей на "Ангстреме". Аналогично, посредством глубокой модернизации, выпускается сборочное оборудование и оборудование для фотолитографии.
Единственный недостаток нашего оборудования по сравнению с импортным – оно не полностью автоматическое, поэтому его нельзя встраивать в техпроцесс с большим объемом производства, в комплексы кластерных установок. Мы готовы выполнить соответствующие НИОКР по автоматизации оборудования, но на это нужны серьезные средства.
Группа компаний "ЭСТО" специализируется именно на производстве технологического оборудования?
Не только. Сегодня НПП "ЭСТО" способно не просто поставлять единичное оборудование, мы можем полностью оснастить технологическое производство, от производственного участка до завода. Например, нами полностью оснащен филиал завода "Ангстрем" в Китае, производственные участки на заводе приемо-передающих модулей в Нанкине (Китай), на Ижевском электромеханическом заводе.
У нас большой опыт поставки оборудования для производства гибридных микросборок. Сегодня эта продукция востребована в авиационной, космической отраслях, в судостроении, приборостроении, в электронной отрасли, атомной промышленности, в связи и т.п. Но в России 90% производств гибридных схем работает на совершенно устаревшей технике. Поэтому мы делаем упор на полное оснащение производства гибридных микросборок. Выпуская основное технологическое оборудование для этих производств – лазерное, вакуумно-плазменное, фотолитографическое, дисковой резки и микросварки – и дополняя его оборудованием других производителей, мы полностью оснащаем производство, от выпуска фотошаблонов до разварки выводов и корпусирования готовых приборов. В такой технологической цепочке может быть оборудование и других производителей, например установщики компонентов, паяльные печи, измерительное оборудование и т.п. Но мы осуществляем комплексную поставку, включая и такое оборудование. И сдаем весь производственный участок "под ключ".
Используемый нами комплексный подход чрезвычайно привлекателен для заказчика, поскольку за все отвечает одна компания. В результате у потребителя не может быть, например, такой ситуации, что установка нанесения фоторезиста неправильно наносит слой и поэтому не работает установка экспонирования. По такому принципу мы оснастили сначала опытные участки, а затем и технологические комплексы в федеральных ядерных центрах в Сарове (ВНИИЭФ) и в Снежинске (НИИТФ), цех микроэлектроники на Ижевском электромеханическом заводе, отдел гибридных микросхем РПКБ и др. Сейчас идут переговоры о поставке участка гибридных микросборок в НИИДАР. Ведутся работы по модернизации микросборочного производства в Заречном (завод "Старт"), частичные модернизации микросборочного производства в КБ "Лира" (Москва), ОКБ "Авиа-автоматика" (Курск), на заводе "Тензор" (Дубна) и др.
Важно отметить, что мы взаимодействуем с разработчиками производственных помещений – такими как "Мосэлектронпроект". Речь идет о проектировании производственных участков с учетом оснащения нашим оборудованием. Например, сейчас реконструируется участок на Калужском заводе радиотехнической аппаратуры, где в проект изначально заложено наше оборудование. Это удобно и проектировщкам, и заказчикам. Аналогично мы работали с НПО "Исток" по оснащению их производства установками электронно-лучевой литографии.
Поставляется ли оборудование "ЭСТО" на экспорт?
Да, конечно. Например, НПП "ЭСТО" полностью оснастило филиал завода "Ангстрем" в Китае. Работа велась два года – оборудование перед поставкой отлаживалось в России, в результате мы оснастили завод мощностью выпуска 20 тыс. пластин в месяц. Подчеркну – завод этот оснащен полностью модернизированным нами оборудованием.
У НИИ "ЭСТО" есть заказ от южнокорейского предприятия на НИКОР машины по раскрою многослойных печатных плат нового поколения. Эту установку фирма собирается встраивать в свои технологические комплексы. Ведутся переговоры с другой южнокорейской компанией о создании машины для термораскалывания – как полупроводниковых материалов, так и стекла.
Несколько вакуумно-плазменных установок мы поставили в Северную Корею и в Китай. А вот лазерное оборудование отгружалось и в США, и в Европу, одна из наших первых машин на линейных высокоскоростных приводах была поставлена в Словению. Значительные объемы лазерного оборудования поставляю и в страны Юго-Восточной Азии.
Вы производите оборудование в основном для предприятий электроники?
Не только. Наши наработки позволяют одновременно выпускать оборудование как для задач микроэлектроники и смежных областей, так и для различных видов механической обработки и нанесения покрытий. Во-первых, это диверсификация рынка потребления нашей продукции. Кроме того, мы начинали деятельность, когда микроэлектроника была в тяжелом состоянии. Поэтому приходилось работать с предприятиями самых разных отраслей – от выпускающих сувенирную продукцию до автомобиле- и авиастроения. Причем речь идет не только о лазерном оборудовании, но и о вакуумном. Ведь наши вакуумные установки позволяют наносить упрочняющие и декоративные покрытия. Например, для упрочнения лопаток турбин, инструмента и т.п. Таких машин мы выпустили не очень много, но при наличии заказа их производство можно быстро развернуть.
Аналогично, оборудование дисковой резки применимо и для полупроводниковых пластин (кремний, кремний на сапфире, кремний на изоляторе), и для всех материалов гибридного производства, таких как ситалл, поликор, ферриты, кварцевые стекла и т.д. Установки микросварки (ультразвуковой и контактной) используются как в традиционной микроэлектронике, так и в близких областях – для изготовления микроэлементов, микродатчиков, микромеханических приборов и др.
Как организована производственная структура НПП "ЭСТО"?
В структуру НПП "ЭСТО" входят конструкторские бюро по направлением деятельности, где ведутся разработки нового оборудования. Экспериментальные и научно-исследовательские лаборатории ведут работы по новым технологиям, отладке и модернизации оборудования. Имеются участки мехобработки, узловой сборки, сборки электронных блоков и систем.
У нас есть два технологических участка – лазерного и вакуумного. Участок лазерной обработки используется как для собственных нужд (раскрой, маркрировка и т.п.), так и для выполнения сторонних заказов – резка, сварка, размерная обработка, маркировка. Но самое главное – такой участок позволяет продемонстрировать потенциальным заказчикам наше оборудование в действии, причем на реальных задачах покупателей. Заказчик непосредственно убеждается, что оборудование позволяет решать его задачи, и охотно его приобретает.
Аналогично работает и участок вакуумной техники. Там стоят несколько установок, где происходит отработка технологий – таких, как травление кварца, соединений кремния, арсенида галлия, сейчас отрабатываются технологии травления меди и т.п.
То же самое можно сказать и про оборудование для дисковой резки и микросварки. Прежде чем заказать машины, покупатели приезжают со своими образцами, мы режем их материалы, развариваем их микросборки/микродетали.
Каковы объемы выпуска продукции?
В прошлом году было выпущено более 40 лазерных и порядка 15 вакуумно-плазменных установок различного назначения. В этом году планируем отгрузить 60 лазерных, порядка 25 вакуумно-плазменных установок, около 50 машин микросварки, 10–12 установок дисковой резки. В денежном выражении общий объем реализации группы компаний "ЭСТО" – 300 млн. руб. в год при общей численности персонала около 250 человек.
Взаимодействуете ли вы в области разработок с другими российскими компаниями?
В области лазерной тематики, например, у нас очень тесное взаимодействие с Центром физического приборостроения Института общей физики РАН (Троицк). По вакуумному оборудованию мы тесно взаимодействуем с Всероссийским НИИ авиационных материалов (ВИАМ), это наш генеральный заказчик, мы совместно отрабатываем технологию нанесения упрочняющих покрытий. Начинаем взаимодействовать с известной компанией НТ МДТ – мы вместе вошли в свободную экономическую зону "Зеленоград", они также занимаются разработкой вакуумно-плазменного оборудования в области нанотехнологий.
Мы активно сотрудничаем с вузами – с МВТУ им. Баумана, со Станкином, с МИФИ, МИЭТ. У нас работают аспиранты, проходят практику студенты. В результате у нас нет проблемы с молодыми специалистами, что очень важно для развивающейся компании.
Вы говорили, что рассматриваете вопрос привлечения государственных инвесторов. Под какие задачи?
Прежде всего, нам нужны серьезные инвестиции, чтобы повысить конкурентоспособность продукции по сравнению с ведущими мировыми образцами. В частности, нам не хватает собственных средств для оснащения оборудования новыми приборами, для вхождения в область нанотехнологий, в область фемтосекундных импульсов. Необходимо осваивать новые типы лазерной техники – волоконные лазеры, лазеры многократной накачки, новые системы ионно-плазменной обработки.
Многие потенциальные заказчики заинтересованы в повышении автоматизации нашего оборудования – мы выпускаем машины индивидуальной обработки, а необходимо производить установки кластерные, с использованием современных роботов, которых в России не выпускают, – их надо покупать. Для всего этого и необходимо государственно-частное партнерство – чтобы успешная компания смогла подняться на принципиально новый уровень.
На паритетных началах, или даже привлекая 60% частных инвестиций и 40% государственных, мы могли бы выпускать серии еще более современных и востребованных промышленных систем. От государства нам нужны дешевые кредиты и заказы на выполнение НИОКР, в результате которых потребители непосредственно получат готовые образцы нового оборудования.
Второй аспект проблемы – наше вхождение в свободную экономическую зону. Нам уже выделен участок в 1 га под строительство лабораторного и опытно-конструкторского корпуса площадью 5 тыс. м2. Для этого проекта мы ищем стратегического инвестора. Изначально планировалось, в роли такового будет выступать "Банк развития и внешнеэкономической деятельности (Внешэкономбанк)". Но при обращении в этот банк выяснилось, что в соответствии с "Меморандумом о финансовой политике государственной корпорации "Банк развития и внешнеэкономической деятельности (Внешэкономбанк)", минимальный объем финансирования проекта должен составлять 2 млрд. руб. Нам же для строительства и оснащения нового корпуса нужно "всего" 200 млн. руб. инвестиционных средств. Соответственно, мы либо соберем пул предприятий на 2 млрд. руб., либо эти средства будут разбираться банками для вторичного финансирования проектов, либо мы вступим в кооперацию с иным инвестором.
Участвует ли НПП "ЭСТО" в программных мероприятиях каких-либо Федеральных целевых программ (ФЦП)?
Косвенно – да. Мы поставляем свое оборудование предприятиям, которые выполняют работы в рамках ФЦП. Но непосредственного финансирования на изготовление оборудования, равно как и на разработку оборудования для производства изделий микроэлектроники, в ФЦП не предусмотрено. Сейчас рассматривается вопрос о создании отдельной целевой программы по станкостроению и высокоточному технологическому оборудованию, но он еще не решен.
Мы подавали предложения в ФЦП "Национальная технологическая база" (в подраздел "Элементная база микроэлектроники"), пытались вписать в программу раздел оборудования, но их не приняли. Видимо, при создании этой ФЦП предполагалось, что деньги выделяются изготовителям изделий микроэлектроники, СВЧ-электроники и т.д., а они уже будут заказывать или покупать необходимое им технологическое оборудование. Но в рамках всех ФЦП предприятиям зачастую не хватало средств даже на поддержку имеющегося у них оборудования. Они покупали бывшее в употреблении оборудование, модернизировали свои старые установки, в лучшем случае – приобретали в малых объемах наше новое оборудование. Но о заказе НИОКР на оборудование речи идти не могло.
Для сравнения – во времена СССР 6-е главное машиностроительное управление в МЭП было одним из самых сильных. К концу 80-х годов в машиностроительном направлении Министерства электронной промышленности работало более ста научно-производственных объединений, НИИ, КБ и серийных заводов. Из сборочных цехов выходили тысячи единиц специального технологического оборудования.
Одним из важнейших достижений в оснащении отрасли стало появление оборудования, основанного на новых физических принципах обработки, например, ионами различных веществ или лазерным излучением.
Лазерные установки, разработанные и выпускаемые предприятиями министерства, широко применялись для подгонки номиналов резисторов, как дискретных, так и на микросхемах, для ретуши фотошаблонов, для разделения подложек, для заварки корпусов приборов, в инструментальном хозяйстве и для много другого. Оборудования лазерной обработки материалов выпускалось в МЭПе едва ли не столько же, сколько во всем остальном мире (по осторожной оценке). Производимое в МЭП оборудование использовалось и в других отраслях – космической, авиационной, судостроении, атомной и оборонной промышленности.
Конечно, нельзя сказать, что это было лучшее в мире оборудование. Плановая экономика (в ее негативном аспекте), слабое стимулирование новых разработок, отсутствие конкуренции, отсутствие мировой кооперации, погоня за количеством в ущерб качеству отразилось и на электронном машиностроении. Как ни странно, недофинансирование отрасли началось уже в начале 1980-х. Уже тогда в СССР был сделан упор на сырьевые отрасли. Несмотря на эти негативные тенденции, отечественное оборудование конца 1980-х – начала 1990-х годов еще работает на действующих предприятиях электронной промышленности России и за рубежом. Это показывает, что отрасль вполне соответствовала мировому уровню конца 1980-х. Да, оно уступало иностранному в отношении дизайна, часто требовало избыточного дополнительного обслуживания, отставало в системах управления и степени роботизации. Но это была Российская технологическая база, позволяющая поддерживать обороноспособность страны, выпускать самолеты, корабли и многое другое.
Конечно, Россия сегодня не в состоянии выпускать весь спектр технологического оборудования для электронной и другой наукоемкой промышленности. Но то, что еще осталось, надо поддерживать и развивать. Тогда это будет "национальная технологическая база" России, а не США, Японии и даже Китая, которому Россия недавно сама поставляла оборудование в немалых количествах.
Поэтому сегодня чрезвычайно важно поддержать успешных отечественных производителей технологического оборудования, уже доказавших, что выпускаемая ими продукция востребована рынком и соответствует уровню современных задач. К их числу, безусловно, относится группа компаний НПП "ЭСТО".
Российские предприятия готовы покупать современное российское оборудование, соответствующее мировому уровню, но за его разработку, проведение научных исследований и опытно-конструкторских разработок платить никто не хочет. НИОКРы на разработку оборудования всегда во всем мире финансировало государство или очень крупное объединение с государственным участием. По-видимому, другого пути нет и сейчас…
Спасибо за содержательный рассказ. Желаем дальнейшего развития вашей компании – во всех областях ее деятельности.
С В.Б.Разумовым беседовали Г.А.Свидерская и И.В.Шахнович
Группа компаний "ЭСТО" (электронное специальное технологическое оборудование) – это объединение российских компаний, специализирующихся на разработках, производстве, модернизации, продаже и послепродажном обслуживании специального технологического оборудования. В 1993 году на базе пуско-наладочной организации Министерства электронной промышленности (МЭП) было образовано ЗАО "Электронсервис". Его деятельность начиналась с поставок бывшего в употреблении оборудования с его широкой модернизацией, инсталляцией и последующим сервисом. Основная специализация компании "Электронсервис" сегодня – инжиниринговые услуги по подготовке и обеспечению производственных процессов изготовления изделий электронной техники и смежных отраслей.
В том же 1993 году группой ведущих специалистов НИИ "Зенит" был образован научно-производственный центр "Лазеры и аппаратура ТМ". С 1991 по 1996 год эта компания была ориентирована на производство лазеров и комплектующих для них. Но уже с 1996 года акценты стали смещаться в область разработки и производства лазерных систем для обработки материалов. С 1997 по 2002 год было создано и запущено в серию новое поколение лазерного технологического оборудования серии МЛ.
В те же годы действовала и самостоятельная группа разработчиков вакуумной техники и ионно-плазменных технологий, занимавшаяся на нескольких предприятиях созданием образцов вакуумной техники. В 2002 году они объединились и образовали компанию "ЭСТО"-вакуум" по разработке специализированного вакуумного оборудования для напыления и травления различных материалов.
В 2002 году была образована совместная структура – "Научно-производственное предприятие "ЭСТО", объединившая все эти компании. Изначально предполагалось, что одним из акционеров НПП "ЭСТО" будет завод "Ангстрем", который войдет долей капитала в виде площадей. Но "Ангстрем" отказался от этой идеи и продал нам под производственные площади то здание, в котором сегодня располагается компания. С 2002 по 2005 год эти площади оснащались современными инженерными коммуникациями и оборудованием.
В 2006 году была создана инновационная фирма "НИИ "ЭСТО", год назад получившая статус резидента свободной экономической зоны "Зеленоград". Этот проект ориентирован на разработку новейших лазерных и вакуумных технологий, создание образцов оборудования нового поколения, выстраивание связей и механизмов, стимулирующих инновационное развитие отечественного электронного машиностроения.
Отмечу, что основные акционеры всех предприятий группы компаний "ЭСТО" – частные лица, государственного капитала у нас нет вообще. Но вопрос участия государственных компаний в "ЭСТО" рассматривается. Без партнерства с государственными структурами нам будет очень тяжело, тем более с вхождением в технико-внедренческую зону. Поэтому мы готовы привлечь государственных инвесторов.
Какое оборудование производят столь разнопрофильные компании?
Все наши компании занимаются одним – технологическим оборудованием. От модернизации импортного или российского оборудования до производства нового. Так, компания "Лазеры и аппаратура ТМ" производит оборудование лазерной обработки. Серийно выпускается лазерное оборудование для микрообработки, гравировки и маркировки, сварки и размерной обработки, резки и раскроя, а также для подгонки резисторов – тонко- и толстопленочных. Машины раскроя металлов и других материалов оснащены большими координатными столами с линейными приводами, позволяющими обрабатывать материалы с высокой скоростью и точностью.
Кроме того, ведутся серьезные работы в области лазерной микрообработки, в том числе медицинских инструментов, включая хирургические иглы. Разрабатываются машины лазерного управляемого теромраскалывания – это очень перспективное направление, где есть серьезный научный задел. Создаются машины на волоконных высокомощных лазерах, позволяющих раскраивать материалы с высокой скоростью.
В области вакуумной техники мы выпускаем современное полностью автоматическое оборудование – магнетронного, термического и ионно-лучевого напыления, плазмохимического травления, плазмостимулированного осаждения. Разработана серия машин Caroline – производится семь моделей в 12 модификациях. Среди них три типа установок магнетронного напыления, в том числе двухстороннего (металлов, резистивных слоев, кремния и т.п.) на полупроводниковые и диэлектрические подложки. Установки позволяют осаждать и толстые слои металла – до 15 мкм и более.
В серию Carolina также входят установки травления – ионно-лучевого, плазмохимического, ионнохимического. Шлюзовая установка Caroline PECVD15 предназначена для плазмостимулированного осаждения диэлектрических слоев. Возможно травление тонких слоев резистивных сплавов, металлов и диэлектриков на керамических, кремниевых и любых плоских подложках диаметром до 200 мм. Например, установки травления кварца поставлены таким предприятиям, как ВНИИЭФ (Саров), НПП "Полет" (Нижний Новгород), установки обработки кремния – ВНИИ "Автоматика".
В основном потребителями вакуумных установок выступают производители гибридных микросхем, а также предприятия традиционной микроэлекроники для напыления тонких слоев металла – меди, титана, алюминия и т.п. Такое оборудование работает в ОАО "Орбита" (Саранск), на заводе "Старт" (Заречный), на ОАО "РПКБ" (Раменское) и т.д. Недавно к нам обратились представители Рязанского приборного завода – они работали на импортном оборудовании напыления, а теперь переходят на наше, поскольку оно оказалось лучше. Ведутся переговоры о поставке нашего вакуумного оборудования на "Исток" и "Пульсар". И это – лишь отдельные примеры среди российских компаний.
Кроме того, мы выпускаем оборудование дисковой резки и микросварки (контактной и ультразвуковой). Оно производится на арендуемых площадях (порядка 1,5 тыс. м2) в технопарке "Цвет" на территории бывшего завода "Хроматрон". Все эти машины – полуавтоматические.
НПП "ЭСТО" в основном поставляет оборудование собственного производства. Но есть направления модернизации существующего оборудования. В частности, мы занимаемся глубокой модернизацией термического оборудования для микроэлектроники. Модернизация включает замену систем электронного управления, газонапуска, поддержания температуры – от старой печи остается только станина и термокамера, все остальное – наше. В результате получается фактически новая печь. Сейчас новые системы управления печами работают на "Интеграле" в Минске, на "Микроне", ФГУП "НПО ИТ" (Королев) идет полная модернизация четырех печей на "Ангстреме". Аналогично, посредством глубокой модернизации, выпускается сборочное оборудование и оборудование для фотолитографии.
Единственный недостаток нашего оборудования по сравнению с импортным – оно не полностью автоматическое, поэтому его нельзя встраивать в техпроцесс с большим объемом производства, в комплексы кластерных установок. Мы готовы выполнить соответствующие НИОКР по автоматизации оборудования, но на это нужны серьезные средства.
Группа компаний "ЭСТО" специализируется именно на производстве технологического оборудования?
Не только. Сегодня НПП "ЭСТО" способно не просто поставлять единичное оборудование, мы можем полностью оснастить технологическое производство, от производственного участка до завода. Например, нами полностью оснащен филиал завода "Ангстрем" в Китае, производственные участки на заводе приемо-передающих модулей в Нанкине (Китай), на Ижевском электромеханическом заводе.
У нас большой опыт поставки оборудования для производства гибридных микросборок. Сегодня эта продукция востребована в авиационной, космической отраслях, в судостроении, приборостроении, в электронной отрасли, атомной промышленности, в связи и т.п. Но в России 90% производств гибридных схем работает на совершенно устаревшей технике. Поэтому мы делаем упор на полное оснащение производства гибридных микросборок. Выпуская основное технологическое оборудование для этих производств – лазерное, вакуумно-плазменное, фотолитографическое, дисковой резки и микросварки – и дополняя его оборудованием других производителей, мы полностью оснащаем производство, от выпуска фотошаблонов до разварки выводов и корпусирования готовых приборов. В такой технологической цепочке может быть оборудование и других производителей, например установщики компонентов, паяльные печи, измерительное оборудование и т.п. Но мы осуществляем комплексную поставку, включая и такое оборудование. И сдаем весь производственный участок "под ключ".
Используемый нами комплексный подход чрезвычайно привлекателен для заказчика, поскольку за все отвечает одна компания. В результате у потребителя не может быть, например, такой ситуации, что установка нанесения фоторезиста неправильно наносит слой и поэтому не работает установка экспонирования. По такому принципу мы оснастили сначала опытные участки, а затем и технологические комплексы в федеральных ядерных центрах в Сарове (ВНИИЭФ) и в Снежинске (НИИТФ), цех микроэлектроники на Ижевском электромеханическом заводе, отдел гибридных микросхем РПКБ и др. Сейчас идут переговоры о поставке участка гибридных микросборок в НИИДАР. Ведутся работы по модернизации микросборочного производства в Заречном (завод "Старт"), частичные модернизации микросборочного производства в КБ "Лира" (Москва), ОКБ "Авиа-автоматика" (Курск), на заводе "Тензор" (Дубна) и др.
Важно отметить, что мы взаимодействуем с разработчиками производственных помещений – такими как "Мосэлектронпроект". Речь идет о проектировании производственных участков с учетом оснащения нашим оборудованием. Например, сейчас реконструируется участок на Калужском заводе радиотехнической аппаратуры, где в проект изначально заложено наше оборудование. Это удобно и проектировщкам, и заказчикам. Аналогично мы работали с НПО "Исток" по оснащению их производства установками электронно-лучевой литографии.
Поставляется ли оборудование "ЭСТО" на экспорт?
Да, конечно. Например, НПП "ЭСТО" полностью оснастило филиал завода "Ангстрем" в Китае. Работа велась два года – оборудование перед поставкой отлаживалось в России, в результате мы оснастили завод мощностью выпуска 20 тыс. пластин в месяц. Подчеркну – завод этот оснащен полностью модернизированным нами оборудованием.
У НИИ "ЭСТО" есть заказ от южнокорейского предприятия на НИКОР машины по раскрою многослойных печатных плат нового поколения. Эту установку фирма собирается встраивать в свои технологические комплексы. Ведутся переговоры с другой южнокорейской компанией о создании машины для термораскалывания – как полупроводниковых материалов, так и стекла.
Несколько вакуумно-плазменных установок мы поставили в Северную Корею и в Китай. А вот лазерное оборудование отгружалось и в США, и в Европу, одна из наших первых машин на линейных высокоскоростных приводах была поставлена в Словению. Значительные объемы лазерного оборудования поставляю и в страны Юго-Восточной Азии.
Вы производите оборудование в основном для предприятий электроники?
Не только. Наши наработки позволяют одновременно выпускать оборудование как для задач микроэлектроники и смежных областей, так и для различных видов механической обработки и нанесения покрытий. Во-первых, это диверсификация рынка потребления нашей продукции. Кроме того, мы начинали деятельность, когда микроэлектроника была в тяжелом состоянии. Поэтому приходилось работать с предприятиями самых разных отраслей – от выпускающих сувенирную продукцию до автомобиле- и авиастроения. Причем речь идет не только о лазерном оборудовании, но и о вакуумном. Ведь наши вакуумные установки позволяют наносить упрочняющие и декоративные покрытия. Например, для упрочнения лопаток турбин, инструмента и т.п. Таких машин мы выпустили не очень много, но при наличии заказа их производство можно быстро развернуть.
Аналогично, оборудование дисковой резки применимо и для полупроводниковых пластин (кремний, кремний на сапфире, кремний на изоляторе), и для всех материалов гибридного производства, таких как ситалл, поликор, ферриты, кварцевые стекла и т.д. Установки микросварки (ультразвуковой и контактной) используются как в традиционной микроэлектронике, так и в близких областях – для изготовления микроэлементов, микродатчиков, микромеханических приборов и др.
Как организована производственная структура НПП "ЭСТО"?
В структуру НПП "ЭСТО" входят конструкторские бюро по направлением деятельности, где ведутся разработки нового оборудования. Экспериментальные и научно-исследовательские лаборатории ведут работы по новым технологиям, отладке и модернизации оборудования. Имеются участки мехобработки, узловой сборки, сборки электронных блоков и систем.
У нас есть два технологических участка – лазерного и вакуумного. Участок лазерной обработки используется как для собственных нужд (раскрой, маркрировка и т.п.), так и для выполнения сторонних заказов – резка, сварка, размерная обработка, маркировка. Но самое главное – такой участок позволяет продемонстрировать потенциальным заказчикам наше оборудование в действии, причем на реальных задачах покупателей. Заказчик непосредственно убеждается, что оборудование позволяет решать его задачи, и охотно его приобретает.
Аналогично работает и участок вакуумной техники. Там стоят несколько установок, где происходит отработка технологий – таких, как травление кварца, соединений кремния, арсенида галлия, сейчас отрабатываются технологии травления меди и т.п.
То же самое можно сказать и про оборудование для дисковой резки и микросварки. Прежде чем заказать машины, покупатели приезжают со своими образцами, мы режем их материалы, развариваем их микросборки/микродетали.
Каковы объемы выпуска продукции?
В прошлом году было выпущено более 40 лазерных и порядка 15 вакуумно-плазменных установок различного назначения. В этом году планируем отгрузить 60 лазерных, порядка 25 вакуумно-плазменных установок, около 50 машин микросварки, 10–12 установок дисковой резки. В денежном выражении общий объем реализации группы компаний "ЭСТО" – 300 млн. руб. в год при общей численности персонала около 250 человек.
Взаимодействуете ли вы в области разработок с другими российскими компаниями?
В области лазерной тематики, например, у нас очень тесное взаимодействие с Центром физического приборостроения Института общей физики РАН (Троицк). По вакуумному оборудованию мы тесно взаимодействуем с Всероссийским НИИ авиационных материалов (ВИАМ), это наш генеральный заказчик, мы совместно отрабатываем технологию нанесения упрочняющих покрытий. Начинаем взаимодействовать с известной компанией НТ МДТ – мы вместе вошли в свободную экономическую зону "Зеленоград", они также занимаются разработкой вакуумно-плазменного оборудования в области нанотехнологий.
Мы активно сотрудничаем с вузами – с МВТУ им. Баумана, со Станкином, с МИФИ, МИЭТ. У нас работают аспиранты, проходят практику студенты. В результате у нас нет проблемы с молодыми специалистами, что очень важно для развивающейся компании.
Вы говорили, что рассматриваете вопрос привлечения государственных инвесторов. Под какие задачи?
Прежде всего, нам нужны серьезные инвестиции, чтобы повысить конкурентоспособность продукции по сравнению с ведущими мировыми образцами. В частности, нам не хватает собственных средств для оснащения оборудования новыми приборами, для вхождения в область нанотехнологий, в область фемтосекундных импульсов. Необходимо осваивать новые типы лазерной техники – волоконные лазеры, лазеры многократной накачки, новые системы ионно-плазменной обработки.
Многие потенциальные заказчики заинтересованы в повышении автоматизации нашего оборудования – мы выпускаем машины индивидуальной обработки, а необходимо производить установки кластерные, с использованием современных роботов, которых в России не выпускают, – их надо покупать. Для всего этого и необходимо государственно-частное партнерство – чтобы успешная компания смогла подняться на принципиально новый уровень.
На паритетных началах, или даже привлекая 60% частных инвестиций и 40% государственных, мы могли бы выпускать серии еще более современных и востребованных промышленных систем. От государства нам нужны дешевые кредиты и заказы на выполнение НИОКР, в результате которых потребители непосредственно получат готовые образцы нового оборудования.
Второй аспект проблемы – наше вхождение в свободную экономическую зону. Нам уже выделен участок в 1 га под строительство лабораторного и опытно-конструкторского корпуса площадью 5 тыс. м2. Для этого проекта мы ищем стратегического инвестора. Изначально планировалось, в роли такового будет выступать "Банк развития и внешнеэкономической деятельности (Внешэкономбанк)". Но при обращении в этот банк выяснилось, что в соответствии с "Меморандумом о финансовой политике государственной корпорации "Банк развития и внешнеэкономической деятельности (Внешэкономбанк)", минимальный объем финансирования проекта должен составлять 2 млрд. руб. Нам же для строительства и оснащения нового корпуса нужно "всего" 200 млн. руб. инвестиционных средств. Соответственно, мы либо соберем пул предприятий на 2 млрд. руб., либо эти средства будут разбираться банками для вторичного финансирования проектов, либо мы вступим в кооперацию с иным инвестором.
Участвует ли НПП "ЭСТО" в программных мероприятиях каких-либо Федеральных целевых программ (ФЦП)?
Косвенно – да. Мы поставляем свое оборудование предприятиям, которые выполняют работы в рамках ФЦП. Но непосредственного финансирования на изготовление оборудования, равно как и на разработку оборудования для производства изделий микроэлектроники, в ФЦП не предусмотрено. Сейчас рассматривается вопрос о создании отдельной целевой программы по станкостроению и высокоточному технологическому оборудованию, но он еще не решен.
Мы подавали предложения в ФЦП "Национальная технологическая база" (в подраздел "Элементная база микроэлектроники"), пытались вписать в программу раздел оборудования, но их не приняли. Видимо, при создании этой ФЦП предполагалось, что деньги выделяются изготовителям изделий микроэлектроники, СВЧ-электроники и т.д., а они уже будут заказывать или покупать необходимое им технологическое оборудование. Но в рамках всех ФЦП предприятиям зачастую не хватало средств даже на поддержку имеющегося у них оборудования. Они покупали бывшее в употреблении оборудование, модернизировали свои старые установки, в лучшем случае – приобретали в малых объемах наше новое оборудование. Но о заказе НИОКР на оборудование речи идти не могло.
Для сравнения – во времена СССР 6-е главное машиностроительное управление в МЭП было одним из самых сильных. К концу 80-х годов в машиностроительном направлении Министерства электронной промышленности работало более ста научно-производственных объединений, НИИ, КБ и серийных заводов. Из сборочных цехов выходили тысячи единиц специального технологического оборудования.
Одним из важнейших достижений в оснащении отрасли стало появление оборудования, основанного на новых физических принципах обработки, например, ионами различных веществ или лазерным излучением.
Лазерные установки, разработанные и выпускаемые предприятиями министерства, широко применялись для подгонки номиналов резисторов, как дискретных, так и на микросхемах, для ретуши фотошаблонов, для разделения подложек, для заварки корпусов приборов, в инструментальном хозяйстве и для много другого. Оборудования лазерной обработки материалов выпускалось в МЭПе едва ли не столько же, сколько во всем остальном мире (по осторожной оценке). Производимое в МЭП оборудование использовалось и в других отраслях – космической, авиационной, судостроении, атомной и оборонной промышленности.
Конечно, нельзя сказать, что это было лучшее в мире оборудование. Плановая экономика (в ее негативном аспекте), слабое стимулирование новых разработок, отсутствие конкуренции, отсутствие мировой кооперации, погоня за количеством в ущерб качеству отразилось и на электронном машиностроении. Как ни странно, недофинансирование отрасли началось уже в начале 1980-х. Уже тогда в СССР был сделан упор на сырьевые отрасли. Несмотря на эти негативные тенденции, отечественное оборудование конца 1980-х – начала 1990-х годов еще работает на действующих предприятиях электронной промышленности России и за рубежом. Это показывает, что отрасль вполне соответствовала мировому уровню конца 1980-х. Да, оно уступало иностранному в отношении дизайна, часто требовало избыточного дополнительного обслуживания, отставало в системах управления и степени роботизации. Но это была Российская технологическая база, позволяющая поддерживать обороноспособность страны, выпускать самолеты, корабли и многое другое.
Конечно, Россия сегодня не в состоянии выпускать весь спектр технологического оборудования для электронной и другой наукоемкой промышленности. Но то, что еще осталось, надо поддерживать и развивать. Тогда это будет "национальная технологическая база" России, а не США, Японии и даже Китая, которому Россия недавно сама поставляла оборудование в немалых количествах.
Поэтому сегодня чрезвычайно важно поддержать успешных отечественных производителей технологического оборудования, уже доказавших, что выпускаемая ими продукция востребована рынком и соответствует уровню современных задач. К их числу, безусловно, относится группа компаний НПП "ЭСТО".
Российские предприятия готовы покупать современное российское оборудование, соответствующее мировому уровню, но за его разработку, проведение научных исследований и опытно-конструкторских разработок платить никто не хочет. НИОКРы на разработку оборудования всегда во всем мире финансировало государство или очень крупное объединение с государственным участием. По-видимому, другого пути нет и сейчас…
Спасибо за содержательный рассказ. Желаем дальнейшего развития вашей компании – во всех областях ее деятельности.
С В.Б.Разумовым беседовали Г.А.Свидерская и И.В.Шахнович
Отзывы читателей
