Проблема метрологического контроля в микроэлектронике стоит сегодня как никогда остро. Размеры отдельных элементов СБИС становятся меньше длины волны видимого света, величины допусков сопоставимы с атомными. А между тем задача точных измерений до сих пор не решена. Два подхода к ее разрешению & американский и российский – будут рассмотрены в серии из двух статей, первую из которых, посвященную метрологии США, мы предлагаем вашему вниманию. О российском методе измерений читайте в ближайших выпусках.