Недавно на страницах нашего журнала (№3–4/97) была опубликована статья С. Максимова, посвященная проблемам мет рологии в микроэлектронике, в частности методологии, принятой в США. Сегодня мы вновь возвращаемся к этой теме, но теперь уже для того, чтобы рассказать об альтернативном методе измерений субмикронных размеров, разработанном в Рос
сии. Возможности этого метода впечатляют, а вот перспективы применения пока волнуют только создателей метода и их частных инвесторов. У государственных же структур, видимо, хватает забот поважнее, хотя в данном случае речь идет о национальном приоритете в одной из ключевых технологий микроэлектроники.