eng
Выпуск #7/2018
С. Воробьёв
Оборудование Despatch для микроэлектронного производства: применение сушильных шкафов серии LCC для отверждения бензоциклобутена
Оборудование Despatch для микроэлектронного производства: применение сушильных шкафов серии LCC для отверждения бензоциклобутена
Просмотры: 1937
Приведены свойства материалов на основе бензоциклобутена (BCB) и области их применения. Рассмотрены технические решения, реализованные в сушильных шкафах LCC производства компании Despatch и гарантирующие качество процесса отверждения этих материалов, в частности, диэлектриков серии Cyclotene.
DOI: 10.22184/1992-4178.2018.178.7.142.143
УДК 621.3.049.77:66.047.74:67.05 | ВАК 05.27.06
DOI: 10.22184/1992-4178.2018.178.7.142.143
УДК 621.3.049.77:66.047.74:67.05 | ВАК 05.27.06
Материалы на основе бензоциклобутена (в технической литературе его принято обозначать ВСВ, от английского benzocyclobutene) нашли широкое применение в современной микроэлектронике. Эти материалы обладают уникальным комплексом свойств, среди которых – низкое значение диэлектрической постоянной и потерь на высоких частотах, высокая устойчивость к химическим воздействиям, совместимость с различными составами металлизации, низкая температура отверждения (как правило, от 150 до 250 °C) и умеренная (менее 5%) усадка в ходе этого процесса, высокая степень выравнивания поверхности, слабое влагопоглощение, хорошая термическая стабильность, возможность получения вязкости от десятков до тысяч сСт и др.[1]
Такой набор свойств обусловливает высокую востребованность ВСВ в технологических цепочках изготовления компонентов, а также электронных узлов. Сегодня он доминирует в кристальном производстве при выполнении операций этапа FEOL (Front End Of Line – этап, в ходе которого на подложке формируются транзисторы). Но этим, конечно, спектр применений ВСВ не исчерпывается. Он используется в производстве MMIC-усилителей, сборок типа flip-chip и BGA-корпусов с высокоплотным расположением выводов, СВЧ-компонентов и устройств, многослойных подложек и печатных плат с высокой плотностью монтажа.
В конструкциях и технологиях изделий микроэлектроники ВСВ применяется в качестве изолятора при изготовлении многослойных структур межсоединений, для изоляции медных или алюминиевых слоев на кремниевых или керамических подложках, а также на ламинатах. Ту же роль – изоляционного материала – ВСВ играет при формировании перераспределяющего слоя (RDL) для последующего бампинга пластин или корпусирования на уровне пластины (WLP). Благодаря низкому влагопоглощению и быстрому отверждению, стенки переходных отверстий в ВСВ получаются гладкими и пологими.
При помощи ВСВ решаются задачи защиты металлизации с воздушными канавками, пассивации никель-хромовых резисторов на керамических подложках, создания пассивирующего / буферного слоя для защиты от механического воздействия и в качестве дополнительного барьера для ионных загрязнений и влаги. В производстве ЖК-дисплеев с активной матрицей BCB используется для планаризации TFT-панелей, требуемой для последующего нанесения слоя оксида индия-олова (ITO).
Одним из лучших типов оборудования для технологических процессов, связанных с применением ВСВ, являются сушильные шкафы серии LCC производства компании Depatch. Они обеспечивают высокое качество и повторяемость процесса отверждения; кроме того, комплектация шкафов LCC предусматривает большое количество опций, позволяющих создать конфигурацию, в максимальной степени соответствующую потребностям заказчика.
Шкафы серии LCC отличаются высокой точностью поддержания заданной температуры, большой скоростью нагрева и быстрым выходом на режим. В среде рабочих камер шкафов обеспечивается контролируемый уровень концентрации кислорода. Обеспечена возможность поддержания в камере небольшого избыточного давления инертной среды (0,5 psi / 0,03 атм), что исключает риск образования нежелательных окислов на поверхностях изделия. Кроме того, шкаф может быть укомплектован анализатором кислорода с системой оповещения о превышении заданного уровня его концентрации.
За счет HEPA-фильтрации достигается высокая степень пылезащищенности среды в рабочей камере, вплоть до ISO5 (класс 100) и даже выше. Система фильтрации оснащена датчиком, контролирующим падение давления, что позволяет выполнять своевременную замену HEPA-фильтров по мере их загрязнения. При необходимости можно заказать комплектацию без системы HEPA-фильтрации либо специальный НЕРА-фильтр для интенсивного потока воздуха.
Соблюдение требований к надежности и повторяемости процесса сушки BCB достигается, в частности, функцией программируемого запирания двери рабочей камеры шкафа. После начала цикла сушки электронный замок автоматически запирает дверь до полного завершения цикла, чем предотвращается случайное открытие двери оператором до окончания процесса.
Шкафы управляются микропроцессорным контроллером с функцией непрерывной записи температурного режима в рабочей камере в файл регистрации с возможностью экспорта данных через USB-порт. Компактная конструкция позволяет экономить рабочее пространство в чистых помещениях; кроме того, шкафы можно устанавливать друг на друга для максимально эффективного использования занимаемой площади.
Использование шкафов LCC гарантирует выполнение требований безопасности при работе с BCB и соответствие стандартам SEMI S2, CE, UL, CUL. В целом, приобретая
сушильное оборудование компании Despatch, заказчик может быть уверен в качестве выпускаемой продукции в той его части, которая зависит от корректного выполнения процесса отверждения ВСВ. ●
Такой набор свойств обусловливает высокую востребованность ВСВ в технологических цепочках изготовления компонентов, а также электронных узлов. Сегодня он доминирует в кристальном производстве при выполнении операций этапа FEOL (Front End Of Line – этап, в ходе которого на подложке формируются транзисторы). Но этим, конечно, спектр применений ВСВ не исчерпывается. Он используется в производстве MMIC-усилителей, сборок типа flip-chip и BGA-корпусов с высокоплотным расположением выводов, СВЧ-компонентов и устройств, многослойных подложек и печатных плат с высокой плотностью монтажа.
В конструкциях и технологиях изделий микроэлектроники ВСВ применяется в качестве изолятора при изготовлении многослойных структур межсоединений, для изоляции медных или алюминиевых слоев на кремниевых или керамических подложках, а также на ламинатах. Ту же роль – изоляционного материала – ВСВ играет при формировании перераспределяющего слоя (RDL) для последующего бампинга пластин или корпусирования на уровне пластины (WLP). Благодаря низкому влагопоглощению и быстрому отверждению, стенки переходных отверстий в ВСВ получаются гладкими и пологими.
При помощи ВСВ решаются задачи защиты металлизации с воздушными канавками, пассивации никель-хромовых резисторов на керамических подложках, создания пассивирующего / буферного слоя для защиты от механического воздействия и в качестве дополнительного барьера для ионных загрязнений и влаги. В производстве ЖК-дисплеев с активной матрицей BCB используется для планаризации TFT-панелей, требуемой для последующего нанесения слоя оксида индия-олова (ITO).
Одним из лучших типов оборудования для технологических процессов, связанных с применением ВСВ, являются сушильные шкафы серии LCC производства компании Depatch. Они обеспечивают высокое качество и повторяемость процесса отверждения; кроме того, комплектация шкафов LCC предусматривает большое количество опций, позволяющих создать конфигурацию, в максимальной степени соответствующую потребностям заказчика.
Шкафы серии LCC отличаются высокой точностью поддержания заданной температуры, большой скоростью нагрева и быстрым выходом на режим. В среде рабочих камер шкафов обеспечивается контролируемый уровень концентрации кислорода. Обеспечена возможность поддержания в камере небольшого избыточного давления инертной среды (0,5 psi / 0,03 атм), что исключает риск образования нежелательных окислов на поверхностях изделия. Кроме того, шкаф может быть укомплектован анализатором кислорода с системой оповещения о превышении заданного уровня его концентрации.
За счет HEPA-фильтрации достигается высокая степень пылезащищенности среды в рабочей камере, вплоть до ISO5 (класс 100) и даже выше. Система фильтрации оснащена датчиком, контролирующим падение давления, что позволяет выполнять своевременную замену HEPA-фильтров по мере их загрязнения. При необходимости можно заказать комплектацию без системы HEPA-фильтрации либо специальный НЕРА-фильтр для интенсивного потока воздуха.
Соблюдение требований к надежности и повторяемости процесса сушки BCB достигается, в частности, функцией программируемого запирания двери рабочей камеры шкафа. После начала цикла сушки электронный замок автоматически запирает дверь до полного завершения цикла, чем предотвращается случайное открытие двери оператором до окончания процесса.
Шкафы управляются микропроцессорным контроллером с функцией непрерывной записи температурного режима в рабочей камере в файл регистрации с возможностью экспорта данных через USB-порт. Компактная конструкция позволяет экономить рабочее пространство в чистых помещениях; кроме того, шкафы можно устанавливать друг на друга для максимально эффективного использования занимаемой площади.
Использование шкафов LCC гарантирует выполнение требований безопасности при работе с BCB и соответствие стандартам SEMI S2, CE, UL, CUL. В целом, приобретая
сушильное оборудование компании Despatch, заказчик может быть уверен в качестве выпускаемой продукции в той его части, которая зависит от корректного выполнения процесса отверждения ВСВ. ●
Отзывы читателей
