eng
Выпуск #7/2021
И. Сметанин
ОПТИЧЕСКИЕ И ВИДЕОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
ОПТИЧЕСКИЕ И ВИДЕОИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ОБЕСПЕЧЕНИЯ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА В МИКРОЭЛЕКТРОНИКЕ
Просмотры: 796
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.208.7.188.190
Представлены некоторые модели линейки измерительного оборудования, различающиеся степенью автоматизации и стоимостью, производства японской компании Mitutoyo, ведущего мирового производителя средств измерений. Оборудование широко применяется в производствах электронных сборок, микроэлектронике.
Представлены некоторые модели линейки измерительного оборудования, различающиеся степенью автоматизации и стоимостью, производства японской компании Mitutoyo, ведущего мирового производителя средств измерений. Оборудование широко применяется в производствах электронных сборок, микроэлектронике.
Теги: mf-u series microscopes quick vision video measuring machines видеоизмерительные машины quick vision микроскопы серии mf-u
Оптические и видеоизмерительные системы для обеспечения контроля качества в микроэлектронике
И. Сметанин
Представлены некоторые модели линейки измерительного оборудования, различающиеся степенью автоматизации и стоимостью, производства японской компании Mitutoyo, ведущего мирового производителя средств измерений. Оборудование широко применяется в производствах электронных сборок, микроэлектронике.
Микроскоп MF-UB2017D
Данный измерительный микроскоп – это высокоточное и универсальное решение для оценки качества и измерений линейных и угловых размеров электронных компонентов.
Задачи по измерениям зазоров между платами, а также критичных размеров на плате, например, высот клеевого слоя и длин перемычек, разваренных на разных высотах, с помощью микроскопа MF-UB2017D выполняются легко и комфортно для оператора.
MF-UB2017D – это отличное решение для малых и средних серий продукции с доступным бюджетом, которое может успешно применяться для высокоточного серийного производства, НИОКР, реверс-инжиниринга, а также для служб технического контроля качества и в отделах метрологии.
Измерительные микроскопы серии MF-U могут изготавливаться с различными диапазонами измерений, от 100 × 100 мм до 400 × 200 мм.
Особо следует отметить, что микроскопы серии MF-U – модульные, что позволяет гибко подобрать необходимые комплектующие для решения различных измерительных задач и при необходимости дополнять их различными узлами и блоками, расширяя диапазон характеристик и увеличивая возможности применений. Так, например, с помощью большого выбора объективов и окуляров собственного производства Mitutoyo можно обеспечить оптическое увеличение изображения в диапазоне от 10× до 2000× и обеспечить наблюдение и измерения как в режиме светлого, так и темного поля (для обнаружения царапин и небольших уступов, которые трудно увидеть в режиме светлого поля), простую поляризацию (для наблюдения за цветом или контрастом через анализатор, используя свойства поляризации) и ДИК (дифференциально-интерференционный контраст для наблюдения небольших уступов на поверхностях и других элементов в цветовом контрасте с использованием поляризационного фильтра с дифференциально-интерференционной призмой).
А комплектация измерительных микроскопов серии MF-U видеоблоком Vision Unit превращает их в высокопроизводительные видеоизмерительные системы, способные существенно увеличить производительность и повторяемость измерений, исключая все влияния субъективного фактора на результат.
Для измерительных задач большого количества элементов и требующих массового выполнения сходных операций, связанных с поточным масштабированием, рекомендуется применять видеоизмерительные машины с ЧПУ. Особого внимания требуют задачи измерений на изделиях ответственного назначения. Как следствие, возникают повышенные требования к точности, стабильности и скорости проводимых измерений. Однако стремление к повышению скорости измерений может снизить их точность.
Совместить высокую скорость и высокую точность измерений позволяют видеоизмерительные машины с ЧПУ серии Quick Vision. Это передовая техническая разработка компании Mitutoyo и поэтому они отлично подходят для измерения микроскопических объектов, используются в электронике, микроэлектронике и производстве полупроводниковых компонентов. Технология обработки изображений измеряемого объекта с помощью программного обеспечения и управление системой дают высокую скорость, что обеспечивает быстрое получение результатов. Это делает видеоизмерительные машины Quick Vision отличным решением для задач по замеру сразу нескольких элементов изделия, поскольку автоматическая фокусировка и бесконтактный датчик обеспечивают оптимальный алгоритм перемещений и выполнение высокоточных измерений в контрольных точках.
Видеоизмерительная машинА
ULTRA Quick Vision 404 PRO
Видеоизмерительная установка модели ULTRA Quick Vision 404 PRO (QV-U404T1N-D Ultra) производства Mitutoyo – это уникальная машина с ультравысокой субмикронной точностью.
Эта модель оснащена функцией автоматической компенсации температуры, которая использует датчик температуры на основном блоке измерительной машины и датчик температуры детали, что гарантирует заявленную малую погрешность. А функция следящего автофокуса обеспечивает постоянную резкость изображения независимо от изменения высоты детали. Это позволяет существенно повысить скорость измерений без потери в точности.
Видеоизмерительная машина
Hyper Quick Vision WLI
Видеоизмерительные машины Quick Vision могут комплектоваться различными датчиками и являются при этом мультисенсорными измерительными системами. Применение различных датчиков, зачастую уникальных, повышает функциональность видеоизмерительных машин Mitutoyo в соответствии с индивидуальными требованиями.
Например, видеоизмерительная машина Hyper Quick Vision WLI (QVW-H-P-L-D Hyper) является мультисенсорной видеоизмерительной машиной Mitutoyo с двумя датчиками – оптическим и датчиком интерферометра белого света (WLI). Оснащение датчиком WLI позволяет выполнять бесконтактные высокоточные двух- и трехмерные измерения для таких применений, как изучение топографии и анализ поверхности, измерение глубины микроотверстий и размеров микроразварки компонентов.
Дополнительно видеоизмерительная машина Hyper Quick Vision WLI может применяться для входного контроля качества печатных плат, то есть организуется автоматизированный участок разбраковки (например, проверка ширины и глубины фрезеровки дорожек, оценка зазоров между иммерсионным золотом и фоторезистом и т. д.).
Наличие в составе видеоизмерительных машин Mitutoyo профессионального программного обеспечения позволяет проводить измерение и комплексный анализ полученных данных, сравнение измеренных результатов с номинальными, измерение множества деталей одновременно, при этом значение каждого размера после измерения будет протоколироваться автоматически. С помощью определенных программных модулей возможно создавать вместе с видеоизмерительными машинами Mitutoyo автоматизированные системы, например, с подключением роботов или конвейеров.
Видеоизмерительные машины Quick Vision производства Mitutoyo занесены в единый Государственный реестр средств измерений РФ и на них может обеспечиваться поверка, что позволяет применять данные средства измерений в сферах государственного контроля и надзора. Вместе с тем, данные системы прекрасно подойдут для задач контроля качества продукции на выходе, с формированием подтвержденной отчетности, необходимой при оформлении приемо-передаточной документации для заказчиков. Также полученные отчеты измерений будут полезны для службы технологов. Накапливаемая и систематизированная статистика по контролю качества дает возможность выявить причины возникновения отказов и скрытых дефектов, что позволит вовремя предпринять превентивные корректирующие действия по управлению технологическим процессом и сохранить значительные средства на рекламациях и переделках.
* * *
В статье представлены только некоторые модели линейки измерительного оборудования производства компании Mitutoyo по степени автоматизации и стоимостного уровня. С подробным перечнем оборудования Mitutoyo вы можете ознакомиться на сайте www.liontech.ru компании «ЛионТех» – поставщика оборудования для производства электроники и микроэлектроники. ●
И. Сметанин
Представлены некоторые модели линейки измерительного оборудования, различающиеся степенью автоматизации и стоимостью, производства японской компании Mitutoyo, ведущего мирового производителя средств измерений. Оборудование широко применяется в производствах электронных сборок, микроэлектронике.
Микроскоп MF-UB2017D
Данный измерительный микроскоп – это высокоточное и универсальное решение для оценки качества и измерений линейных и угловых размеров электронных компонентов.
Задачи по измерениям зазоров между платами, а также критичных размеров на плате, например, высот клеевого слоя и длин перемычек, разваренных на разных высотах, с помощью микроскопа MF-UB2017D выполняются легко и комфортно для оператора.
MF-UB2017D – это отличное решение для малых и средних серий продукции с доступным бюджетом, которое может успешно применяться для высокоточного серийного производства, НИОКР, реверс-инжиниринга, а также для служб технического контроля качества и в отделах метрологии.
Измерительные микроскопы серии MF-U могут изготавливаться с различными диапазонами измерений, от 100 × 100 мм до 400 × 200 мм.
Особо следует отметить, что микроскопы серии MF-U – модульные, что позволяет гибко подобрать необходимые комплектующие для решения различных измерительных задач и при необходимости дополнять их различными узлами и блоками, расширяя диапазон характеристик и увеличивая возможности применений. Так, например, с помощью большого выбора объективов и окуляров собственного производства Mitutoyo можно обеспечить оптическое увеличение изображения в диапазоне от 10× до 2000× и обеспечить наблюдение и измерения как в режиме светлого, так и темного поля (для обнаружения царапин и небольших уступов, которые трудно увидеть в режиме светлого поля), простую поляризацию (для наблюдения за цветом или контрастом через анализатор, используя свойства поляризации) и ДИК (дифференциально-интерференционный контраст для наблюдения небольших уступов на поверхностях и других элементов в цветовом контрасте с использованием поляризационного фильтра с дифференциально-интерференционной призмой).
А комплектация измерительных микроскопов серии MF-U видеоблоком Vision Unit превращает их в высокопроизводительные видеоизмерительные системы, способные существенно увеличить производительность и повторяемость измерений, исключая все влияния субъективного фактора на результат.
Для измерительных задач большого количества элементов и требующих массового выполнения сходных операций, связанных с поточным масштабированием, рекомендуется применять видеоизмерительные машины с ЧПУ. Особого внимания требуют задачи измерений на изделиях ответственного назначения. Как следствие, возникают повышенные требования к точности, стабильности и скорости проводимых измерений. Однако стремление к повышению скорости измерений может снизить их точность.
Совместить высокую скорость и высокую точность измерений позволяют видеоизмерительные машины с ЧПУ серии Quick Vision. Это передовая техническая разработка компании Mitutoyo и поэтому они отлично подходят для измерения микроскопических объектов, используются в электронике, микроэлектронике и производстве полупроводниковых компонентов. Технология обработки изображений измеряемого объекта с помощью программного обеспечения и управление системой дают высокую скорость, что обеспечивает быстрое получение результатов. Это делает видеоизмерительные машины Quick Vision отличным решением для задач по замеру сразу нескольких элементов изделия, поскольку автоматическая фокусировка и бесконтактный датчик обеспечивают оптимальный алгоритм перемещений и выполнение высокоточных измерений в контрольных точках.
Видеоизмерительная машинА
ULTRA Quick Vision 404 PRO
Видеоизмерительная установка модели ULTRA Quick Vision 404 PRO (QV-U404T1N-D Ultra) производства Mitutoyo – это уникальная машина с ультравысокой субмикронной точностью.
Эта модель оснащена функцией автоматической компенсации температуры, которая использует датчик температуры на основном блоке измерительной машины и датчик температуры детали, что гарантирует заявленную малую погрешность. А функция следящего автофокуса обеспечивает постоянную резкость изображения независимо от изменения высоты детали. Это позволяет существенно повысить скорость измерений без потери в точности.
Видеоизмерительная машина
Hyper Quick Vision WLI
Видеоизмерительные машины Quick Vision могут комплектоваться различными датчиками и являются при этом мультисенсорными измерительными системами. Применение различных датчиков, зачастую уникальных, повышает функциональность видеоизмерительных машин Mitutoyo в соответствии с индивидуальными требованиями.
Например, видеоизмерительная машина Hyper Quick Vision WLI (QVW-H-P-L-D Hyper) является мультисенсорной видеоизмерительной машиной Mitutoyo с двумя датчиками – оптическим и датчиком интерферометра белого света (WLI). Оснащение датчиком WLI позволяет выполнять бесконтактные высокоточные двух- и трехмерные измерения для таких применений, как изучение топографии и анализ поверхности, измерение глубины микроотверстий и размеров микроразварки компонентов.
Дополнительно видеоизмерительная машина Hyper Quick Vision WLI может применяться для входного контроля качества печатных плат, то есть организуется автоматизированный участок разбраковки (например, проверка ширины и глубины фрезеровки дорожек, оценка зазоров между иммерсионным золотом и фоторезистом и т. д.).
Наличие в составе видеоизмерительных машин Mitutoyo профессионального программного обеспечения позволяет проводить измерение и комплексный анализ полученных данных, сравнение измеренных результатов с номинальными, измерение множества деталей одновременно, при этом значение каждого размера после измерения будет протоколироваться автоматически. С помощью определенных программных модулей возможно создавать вместе с видеоизмерительными машинами Mitutoyo автоматизированные системы, например, с подключением роботов или конвейеров.
Видеоизмерительные машины Quick Vision производства Mitutoyo занесены в единый Государственный реестр средств измерений РФ и на них может обеспечиваться поверка, что позволяет применять данные средства измерений в сферах государственного контроля и надзора. Вместе с тем, данные системы прекрасно подойдут для задач контроля качества продукции на выходе, с формированием подтвержденной отчетности, необходимой при оформлении приемо-передаточной документации для заказчиков. Также полученные отчеты измерений будут полезны для службы технологов. Накапливаемая и систематизированная статистика по контролю качества дает возможность выявить причины возникновения отказов и скрытых дефектов, что позволит вовремя предпринять превентивные корректирующие действия по управлению технологическим процессом и сохранить значительные средства на рекламациях и переделках.
* * *
В статье представлены только некоторые модели линейки измерительного оборудования производства компании Mitutoyo по степени автоматизации и стоимостного уровня. С подробным перечнем оборудования Mitutoyo вы можете ознакомиться на сайте www.liontech.ru компании «ЛионТех» – поставщика оборудования для производства электроники и микроэлектроники. ●
Отзывы читателей
