DOI: 10.22184/1992-4178.2022.220.9.122.133

Проблемы получения поликристаллического кремния и особочистого синтетического кварцевого стекла возможно решить в одном проекте. Настоящая статья написана по материалам доклада авторов на научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Российского форума «Микроэлектроника 2022».

sitemap

Разработка: студия Green Art