Электроника НТБ #2/2017
И.Васильев
Зондовые измерения параметров полупроводников: комплексные решения
Рассмотрены комплексные решения для выполнения зондовых измерений параметров полупроводников. Отмечено, что на базе оборудования компании EverBeing можно построить автоматизированный измерительный комплекс, удовлетворяющий современным требованиям, предъявляемым к зондовым измерениям. DOI: 10.22184/1992-4178.2017.162.2.72.77