Электроника НТБ #9/2020
А. Скупов
СВАРКА ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ЧЕРЕЗ ПОЛИМЕРЫ
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.200.9.158.162 Описаны основные подходы к сварке (сращиванию) полупроводниковых пластин через полимерные материалы. Приводится обзор приложений, где может применяться этот процесс. Акцент делается на выборе материалов для данного процесса, а также на особенностях его проведения.
Печатный монтаж #2/2017
О.Симонов
Использование микроволновой плазмы для удаления фоторезиста при групповой обработке полупроводниковых пластин
DOI: 10.22184/1992-4178.2017.162.2.180.184