Электроника НТБ #8/2020
В. Никитин
КЛЮЧЕВЫЕ ФАКТОРЫ НАДЕЖНОСТИ МОДУЛЕЙ ПЕЛЬТЬЕ НА ПРИМЕРЕ ПРОДУКЦИИ КОМПАНИИ CUI DEVICES
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.199.8.136.138 В статье представлены базовые сведения о конструкции и принципах работы модулей Пельтье, а также широко распространенные причины отказа этих элементов, которые следует принимать во внимание при построении надежной системы.
Электроника НТБ #1/2020
В. Емельянов
Повышение устойчивости к стресс-миграции пленочных структур на основе алюминия в микроэлектронике
Описан способ повышения качества тонких пленок на основе алюминия, составляющих токопроводящий рисунок субмикронных полупроводниковых приборов и микросхем. Для исключения или минимизации дефектов на слое сплава алюминия формируется пассивирующий слой нитрида титана, способствующий нивелированию остаточных напряжений в структуре и улавливанию мигрирующих атомов алюминия, что существенно снижает процессы стресс-миграции в системе. DOI: 10.22184/1992-4178.2020.192.1.152.159
Наноиндустрия #9/2018
Гусев Евгений Эдуардович, Дедкова Анна Александровна, Дюжев Николай Алексеевич
Исследование механической прочности многослойных мембран для МЭМС преобразователей физических величин
Представлена конструкция для определения механической прочности, механических напряжений и модуля упругости. Работа устройства проверена на круглых мембранах из оксида и нитрида кремния различного диаметра. Величина двухосного модуля получена аналитическим методом и рассчитана на основе экспериментальных данных. Наблюдается хорошая корреляция между полученными результатами. Показана упругая деформация при избыточном давлении не более 0,6 атм. Определено критическое давление для каждого диаметра. Показано, что круглые мембраны различного диаметра выдерживают одинаковое значение внешней силы. УДК 53.043 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.538.541
Фотоника #2/2017
А. В. Князьков
Оценка изменений напряженного состояния материалов по отражению света
Проведен анализ оценки изменений механических напряжений в упруго-оптической сегнетокерамике по изменению коэффициента отражения монохроматического поляризованного света, падающего на поверхность среды.