Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "nanoimprint lithography"

Электроника НТБ #4/2017
А.Скупов
Наноимпринтная литография: материалы и технологии

Рассмотрены особенности и преимущества наноимпринтной литографии (НИЛ) – перспективного метода формирования наноструктур. Отмечено, что большой потенциал НИЛ подтверждается активной разработкой коммерческих материалов для данного процесса. Один из лидеров в этой сфере – компания micro resist technology, продукты которой рассмотрены в данной статье. УДК 621.382 ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2017.164.4.56.60