Электроника НТБ #2/2023
К. Епифанцев
ИССЛЕДОВАНИЕ АЛГОРИТМА ФУНКЦИОНИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ ЦЕНТРИРОВАНИЯ КРУГЛОМЕРА
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.150.156 Проведен анализ корреляционных связей в системе компенсации кругломера (корреляционный анализ Спирмена), построены корреляционные графы, отражающие зависимости в программном модуле кругломера значения центрирования, компенсационных коэффициентов от массы пригрузов.
Электроника НТБ #4/2017
В.Плебанович, С.Воронин
Комплект оборудования ОАО "КБТЭМ-ОМО" для проекционной субмикронной литографии
Фотолитография – ключевая операция в микроэлектронике, производстве МЭМС, микроэлектрооптических систем, прецизионных СВЧ печатных плат. Точное соответствие изготавливаемой конструкции расчетам конструктора – залог высокого качества, воспроизводимости параметров и достижения предельных возможностей технологии. Специалисты ОАО "КБТЭМ-ОМО" представляют комплект оборудования для проекционной субмикронной литографии. УДК 621.38 ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2017.164.4.62.69