Электроника НТБ #4/2019
П. Григорьев, С. Милешин, Т. Цивинская
Исследование влияния защиты компаундом СИЭЛ на стабильность функционирования контрольно- измерительных МЭМС-сенсоров
Обсуждается одна из проблем разработки и производства измерительных датчиков на базе высокочувствительных сенсоров, изготовленных по технологиям микроэлектроники: защита МЭМС-сенсоров на базе монокристаллического кремния от воздействия окружающей среды. Приводятся результаты исследований указанной направленности по пьезорезистивным датчикам, проведенных в МГТУ им. Баумана. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.185.4.132.138 УДК 681.586 ВАК 05.11.14
Электроника НТБ #7/2017
О.Кочегин, В.Громов, Н.Брюхно, М.Котова, Е.Абашин, В.Огнев
Программа импортозамещения на предприятии "Группа Кремний Эл": полимерное корпусирование
В ЗАО "Группа Кремний ЭЛ" разработан новый композиционный полимерный материал для корпусирования ИС. Связующая основа – смесь фенолоформальдегидной и кремнийорганических смол, наполнитель – кварц и синтетический аморфный диоксид кремния. Полученный реактопласт обладает хорошей адгезией к металлам, повышенными теплостойкостью и влагостойкостью, он свободен от ионов Na+ и Cl– и не выделяет влагу. УДК 621.363 ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2017.168.7.64.68