Электроника НТБ #3/2018
В. Плебанович, С. Аваков, В. Карлов
Динамичное изменение топологии микросхем – преимущество мультифотонаборного степпера
Мультифотонаборный степпер ЭМ-5784 производства ОАО «КБТЭМ-ОМО» (г. Минск, Республика Беларусь) предлагается использовать для изготовления специальных схем с уникальным кодом. УДК 621.382.002 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.174.3.106.110