Наноиндустрия #5/2024
С.А.Жукова, Д.Ю.Обижаев, С.А.Ульянов, М.А.Зиновьев, Д.Д.Рискин, С.Ю.Суздальцев, Е.Н.Фролов, Ю.А.Ганцева
СОЗДАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ И ОРГАНИЗАЦИЯ ИХ СЕРИЙНОГО ПРОИЗВОДСТВА
DOI: https://doi.org/10.22184/1993-8578.2024.17.5.282.290 В ФГУП "ЦНИИХМ" создана линейка микромеханических датчиков линейных ускорений. В состав линейки входят датчики трех исполнений ММА-2, ММА-10 и ММА-30 с диапазонами преобразования ±20 м/с2, ±100 м/с2 и ±300 м/с2 соответственно. Датчики предназначены для использования в составе систем ориентации, стабилизации и навигации в составе различных изделий. Проведен полный комплекс испытаний, подтверждающий заявленные технические характеристики и стойкость к внешним воздействиям, а также утверждена рабочая конструкторская документация для организации серийного производства. Возможный объем производства датчиков составляет несколько тысяч штук в год.
Электроника НТБ #1/2019
В. Ежов
МЭМС-датчики Murata: инновационные технологии для точных измерений
На выставке electronica 2018 в ноябре прошлого года компания Murata представила новые решения в области МЭМС-устройств для мониторинга состояния конструкций, автомобильных систем и медицинских приборов. В статье рассмотрены особенности МЭМС-технологии компании Murata, перспективные области применения и новинки, предложенные компанией. УДК 681.586 | ВАК 05.27.00 DOI: 10.22184/1992-4178.2019.182.1.104.108
Фотоника #7/2018
Ю. Ю. Колбас, И. В. Дронов
Исследование высокоточного аналого-цифрового преобразователя для измерения сигналов акселерометров с токовым выходом
Настоящая работа посвящена анализу различных типов аналого-цифровых преобразователей (АЦП) для акселерометрического канала инерциальных навигационных систем. Сформулированы требования к таким АЦП, исходя из режимов работы акселерометров. Рассмотрены различные виды АЦП и проведен анализ присущих им ошибок. Установлено, что наиболее критичным параметром является изменение смещения нуля при циклическом воздействии повышенной и пониженной температур. Показано, что наиболее приемлемым для удовлетворения сформулированных требований к АЦП является использование сигма-дельта АЦП с возможностью периодической калибровки смещения нуля. Приведены схема и результаты экспериментальных исследований АЦП такого типа. Показано, что применение температурной алгоритмической коррекции позволяет уменьшить изменение смещения нуля АЦП в 18 раз. Проанализирована амплитудно-частотная характеристика (АЧХ) такого АЦП для применений на динамичных объектах. DOI: 10.22184/1993-7296.2018.12.7.684.694
Наноиндустрия #9/2018
Вертянов Денис Васильевич, Бураков Михаил Михайлович, Кручинин Сергей Михайлович, Сидоренко Виталий Николаевич, Брыкин Арсений Валерьевич
Трехмерная микросборка на основе коммутационных плат из кремния и бескорпусных элементов МЭМС
В статье представлена концепция технологии трехмерной микросборки на основе коммутационных плат из кремния. Описаны преимущества применения данной технологии для производства малогабаритных изделий микросистемной техники на основе бескорпусных элементов МЭМС. Представлены результаты исследований процессов формирования сквозных металлизированных отверстий в коммутационных платах из кремния. Рассмотрены конструкции отечественных акселерометров, разработанных по технологии трехмерной микросборки. УДК 621.3.049.76 DOI: 10.22184/1993-8578.2018.82.521.531
Фотоника #3/2018
Ю. Ю. Колбас, А. Г. Зубов, Л. В. Еремин
Исследование стабильности углов ориентации измерительных осей акселерометров в инерциальном измерительном блоке
Рассмотрены зависимости матрицы ориентации измерительных осей акселерометров в инерциальном измерительном блоке (ИИБ) от температуры и механических ударных и вибрационных воздействий. Показано, что при отдельном расположении гироскопов и акселерометров не возникает дополнительных ошибок ориентации их измерительных осей после вибрации и ударов. DOI: 10.22184/1993-7296.2018.71.3.352.363