Электроника НТБ #4/2018
М. Макушин
Интеллектуальные производства и технологии как условия решения проблем с оборудованием по мере масштабирования ИС
По мере масштабирования ИС усугубляются проблемы, связанные с использованием производственного оборудования, – выход годных, изменение параметров процесса и аппаратуры, сопряжение устройств различных поставщиков. Использование искусственного интеллекта и создание соответствующих умных производств – один из путей преодоления подобных проблем. УДК 621.37 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.175.4.132.142