Электроника НТБ #1/2012
В.Плебанович, Л.Сятковский, С.Воронин
Фотолитография. Решение проблемы прецизионного совмещения слоев после эпитаксии
Создание современных интегральных микросхем (микросхем с напряжением питания 40, 80 и 120 В) невозможно без применения новых полупроводниковых технологий. Как правило, такие микросхемы создаются по биполярной технологии, имеют толстые (более 13 мкм) эпитаксиальные слои, а для улучшения параметров элементной базы в них используются скрытые слои. Проектные нормы соответствуют уровню 2 мкм, наблюдается тенденция к снижению. Фотолитография выполняется на установках проекционной печати с автоматическим совмещением и экспонированием, например, ЭМ-584АМ (проектные нормы до 1,5 мкм) или ЭМ-5084Б (проектные нормы до 0,8 мкм) производства КБТЭМ-ОМО или на аналогичных установках других производителей. Как правило, на всех предприятиях микроэлектроники в СНГ имеется такое оборудование.выполняться на светодиодах. Одновременно с ростом СД-подсветки ЖК-экранов сокращается число используемых для этого светодиодов в корпусном исполнении. Вместе с тем наблюдается рост рынка СД-систем общего освещения, чему способствуют меры многих правительств по развитию твердотельных средств освещения.
Электроника НТБ #8/2011
В.Шурыгина
Рынок светодиодов. Перераспределение областей применения
Несмотря на резкое падение цен, ухудшение показателей рынка и на трудности, связанные с увеличением инвестиций, ростом спроса на новейшие модели устройств со светодиодной подсветкой и сезон рождественских покупок стимулируют успешное развитие промышленности светодиодов (СД). Изготовители СД заявили, что уже в сентябре они получили срочные заказы на поставку приборов для подсветки планшетных ПК и мобильных устройств. А расширение выпуска новых моделей телевизоров со светодиодной подсветкой будет способствовать не только росту потребления светодиодов, но и оживлению их производства. По-прежнему подсветка ЖКД малых и средних размеров, а также мониторов персональных компьютеров практически полностью будет выполняться на светодиодах. Одновременно с ростом СД-подсветки ЖК-экранов сокращается число используемых для этого светодиодов в корпусном исполнении. Вместе с тем наблюдается рост рынка СД-систем общего освещения, чему способствуют меры многих правительств по развитию твердотельных средств освещения.