Электроника НТБ #5/2018
М. Макушин, В. Мартынов
EUV-литография на пороге. Технологические и зкономические аспекты освоения в производстве
Рассматриваются возможности и проблемы внедрения EUV-литографии (литография в предельной УФ-области спектра) в серийное производство ИС. УДК 621.37 | ВАК 05.27.06 DOI: 10.22184/1992-4178.2018.176.5.108.116