Электроника НТБ #7/2018
С. Воробьёв
Оборудование Despatch для микроэлектронного производства: применение сушильных шкафов серии LCC для отверждения бензоциклобутена
Приведены свойства материалов на основе бензоциклобутена (BCB) и области их применения. Рассмотрены технические решения, реализованные в сушильных шкафах LCC производства компании Despatch и гарантирующие качество процесса отверждения этих материалов, в частности, диэлектриков серии Cyclotene. DOI: 10.22184/1992-4178.2018.178.7.142.143 УДК 621.3.049.77:66.047.74:67.05 | ВАК 05.27.06