Станкоинструмент #4/2017
Г. Нуждин, М. Анисимова, Д. Благовещенский
Метрологическое обеспечение инструментального производства
Показано, что в инструментальном производстве может оказаться недостаточно внедрения только требований ГОСТ Р 51672 к метрологическому обеспечению испытаний инструмента. На примере производства ПАО «МИЗ» продемонстрирована целесообразность применения требований ГОСТ Р 8.563 в дополнение к внедренным. DOI: 10.22184/24999407.2017.9.4.58.60
Наноиндустрия #1/2012
K.Gogolinskiy, A.Useinov, A.Kuznetsov, V.Reshetov, S.Golubev
Метрологическое обеспечение измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
В работе обсуждается задача обеспечения прослеживаемости измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне сканирующей зондовой микроскопией (СЗМ) к первичному эталону метра. Описывается сканирующий зондовый микроскоп "НаноСкан-3Di" с интегрированным трехкоординатным лазерным гетеродинным интерферометром. Рассмотрены особенности применения сверхострых алмазных наконечников для получения профиля поверхности методами СЗМ в сравнении со стандартными кремниевыми кантилеверами.