Электроника НТБ #7/2022
Е. Набокова
СТРУИ В ВАКУУМЕ – РЕШЕНИЕ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.218.7.134.138 Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП-1, разработанная НПП «ПРОТОН», предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин. Используется уникальная российская технология – «Струи в вакууме».
Электроника НТБ #9/2018
И. Новожилов
Прибор для бесконтактного контроля типа проводимости кремниевых слитков и пластин
В статье описан прибор PN-100 (компания Semilab, Венгрия) для определения типа проводимости кремниевых пластин (слитков) без риска повреждения их поверхности. Компактный и простой в использовании прибор позволяет избежать больших потерь времени и средств, возможных в случае ошибки поставщика полупроводниковых материалов. 10.22184/1992-4178.2018.180.9.134.135