Электроника НТБ #2/2023
А. Видрицкий, В. Ланин
ВАКУУМПЛОТНАЯ ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОБОЛОМЕТРОВ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66 В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.
Фотоника #5/2021
Р. З. Хафизов, В. В. Старцев, В. Ю. Москвичев
Быстродействующие болометрические матричные детекторы
DOI: 10.22184/1993-7296.FRos.2021.15.5.396.409 В статье представлены результаты исследования возможностей уменьшения времени отклика (постоянной времени тепловой релаксации) на тепловое воздействие болометрического сенсора. Анализ проведен в рамках общепринятой теории поглощения ИК-излучения и теплофизических процессов, протекающих в мембранных МЭМС-структурах. Представлены результаты аналитических оценок, оптимизирующие конструкцию микроболометрического элемента матричного детектора для улучшения его характеристик быстродействия с учетом требований конкретных применений. Выявленные закономерности будут применены в производстве микроболометров семейства «Астрон».
Электроника НТБ #1/2019
Н. Кульчицкий, А. Наумов, В. Старцев
Рынок неохлаждаемых микроболометров для ИК-камер: тенденции и перспективы
Основное увеличение объема выпускаемых тепловизионных ИК-систем связано с гражданским применением: термографией, охранным и пожарным наблюдением, персональными системами ночного видения и локальными рынками безопасности (муниципальными, частными и пр.). УДК 621.315.592 | ВАК 05.11.07 DOI: 10.22184/1992-4178.2019.182.1.156.164