Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "measuring integrated circuits"

Электроника НТБ #4/2019
П. Григорьев, С. Милешин, Т. Цивинская
Исследование влияния защиты компаундом СИЭЛ на стабильность функционирования контрольно- измерительных МЭМС-сенсоров

Обсуждается одна из проблем разработки и производства измерительных датчиков на базе высокочувствительных сенсоров, изготовленных по технологиям микроэлектроники: защита МЭМС-сенсоров на базе монокристаллического кремния от воздействия окружающей среды. Приводятся результаты исследований указанной направленности по пьезорезистивным датчикам, проведенных в МГТУ им. Баумана. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.185.4.132.138 УДК 681.586 ВАК 05.11.14