Электроника НТБ #1/2011
А.Васильев, И.Олихов, Н.Самотаев
Технология "нано-на-микро". улучшение характиристик газовых сенсоров
Любое устройство, рассчитанное на работу в беспроводных распределенных сетях или системах на их основе, должно удовлетворять определенным требованиям. Прежде всего – это максимально низкое энергопотребление, низкая стоимость и высокая надежность. Создание газового сенсора, который отвечал бы этим требованиям – задача достаточно сложная. Несмотря на кажущуюся простоту, он сконцентрировал в себе все современные достижения науки о материалах и микроэлектронной технологии. Технология “нано-на-микро” позволяет создать газовый сенсор, который будет отвечать требованиям совместимости с беспроводными системами.