Электроника НТБ #5/2019
Б. Лапшинов, Н. Тимченко
МНОГОКАНАЛЬНЫЙ ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЙ КОМПЛЕКС НА БАЗЕ МАЛОГАБАРИТНЫХ СПЕКТРОМЕТРОВ ВЫСОКОГО РАЗРЕШЕНИЯ
Исследование современных плазменных технологий требует разработки новых измерительных процессов. Предлагаемый многоканальный измерительный комплекс на базе малогабаритных спектрометров позволяет проводить спектральные исследования как стационарных, так и быстропротекающих процессов с нестационарной температурой.