Электроника НТБ #6/2019
С. Шиляев, С. Постнов
Обработка металлов и диэлектриков аргоновой СВЧ-плазмой атмосферного давления
Рассмотрены результаты обработки различных материалов аргоновой СВЧ-плазмой, которые были получены на оборудовании ООО «Руднев-Шиляев». Отмечено, что проведенные исследования показывают эффективность применения СВЧ-плазмы атмосферного давления для обработки поверхностей перед созданием адгезионных соединений, а также для обработки образцов перед спеканием в порошковой металлургии. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.187.6.150.153