Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "trichlorosilane"

Электроника НТБ #6/2019
В. Иванов
Хлорирование в солевом расплаве в технологии производства поликристаллического кремния

Для снижения себестоимости поликремния предлагается в качестве сырья использовать материалы, содержащие диоксид кремния. Описаны процесс хлорирования кремнезема в соляном расплаве и применяющиеся сырьевые материалы. Определены расходы основных сырьевых материалов, их стоимость в традиционной и предлагаемой новой технологии производства поликремния. Проведен сравнительный анализ расчетных значений. DOI: 10.22184/1992-4178.2019.187.6.154.160