Электроника НТБ #7/2019
Е. Acтaxoв, А. Астахова, П. Царин, И. Колганов, С. Горобец
ПРИМЕНЕНИЕ ТЕРМОХИМИЧЕСКИ СТОЙКИХ ФИЛЬТРУЮЩИХ МАТЕРИАЛОВ В МИКРОЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ
В микроэлектронике для очистки жидких сред, в том числе деионизованной воды, кислот, щелочей, травителей, гальванических растворов, а также сжатых газов, широко применяются фильтры на основе химически и термически стойких полимеров. В статье рассмотрены особенности фильтрующих элементов производства ГК «Обнинские фильтры».