Электроника НТБ #2/2020
М. Макушин, В. Мартынов
Некоторые проблемы современной метрологии в микроэлектронике
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.193.2.80.91 По мере масштабирования ИС и освоения 3D-структур усложняются средства метрологии и контроля. Важную роль в дальнейшем их развитии и совершенствовании играют искусственный интеллект, машинное обучение и совершенствование вычислительных технологий.