Электроника НТБ #5/2022
М. Макушин
РЫНОК ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ, ПРОБЛЕМЫ EUV-ЛИТОГРАФИИ И ПЕРСПЕКТИВНЫХ МЕТОДОВ КОРПУСИРОВАНИЯ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.216.5.30.40 Анализируются рынок технологического оборудования для изготовления ИС и перспективные направления развития полупроводникового оборудования. Движущие факторы развития рынка оборудования – расширение использования EUV-литографии и перспективных методов корпусирования.
Электроника НТБ #3/2020
М. Макушин, В. Мартынов
Производственные технологии микроэлектроники: проблемы развития. Часть 1
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.194.3.76.88 Рассматриваются эволюция транзисторных структур, новые классы 2,5D- и 3D‑модулей и методики корпусирования, а также перспективы развития чиплетов для МО США и гражданской продукции, стандарты.