Наш сайт использует cookies.
Продолжая просмотр, вы даёте согласие на обработку персональных данных и соглашаетесь с нашей
Политикой Конфиденциальности
Согласен
Тег "nanometrology"
Наноиндустрия #5/2017 И.Пылев, И.Яминский Эталон нанометра
Одна из проблем нанометрологии заключается в создании простого и доступного эталона длины в нанометровом диапазоне. На данный момент не существует малогабаритного эталона длиной ровно в 1 нм, с помощью которого можно было бы проводить калибровку сканирующего зондового микроскопа непосредственно в процессе сканирования. Его создание значительно упрощает процесс калибровки микроскопа, а сам эталон служит прочным метрологическим фундаментом для развития перспективных нанотехнологий. УДК 531.711 ВАК 05.02.23 DOI: 10.22184/1993-8578.2017.76.5.52.57
Электроника НТБ #9/2014 Р.Лапшин ОСОБЕННОСТЬ-ОРИЕНТИРОВАННАЯ СКАНИРУЮЩАЯ ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ: ПРЕЦИЗИОННЫЕ ИЗМЕРЕНИЯ, НАНОМЕТРОЛОГИЯ, НАНОТЕХНОЛОГИИ "СНИЗУ-ВВЕРХ"
Дается краткое описание группы методов, лежащих в основе особенность-ориентированной сканирующей зондовой микроскопии (ООСЗМ) – нового подхода в сканирующей зондовой микроскопии, при котором измеряемая или модифицируемая поверхность представлена не “мертвым” массивом точек скана, а совокупностью особенностей, каждая из которых характеризуется своим собственным набором признаков. Работа с особенностями поверхности позволяет при комнатной температуре не только существенно увеличить точность измерения топографии поверхности и заметно улучшить разрешение зондового микроскопа, но и в перспективе реализовать автономно работающее многозондовое нанопроизводство “снизу-вверх”.
Наноиндустрия #5/2013 П.Тодуа, В.Гавриленко Нанометрология – основа устойчивого развития нанотехнологий
Одна из ключевых задач нанометрологии – обеспечение единства измерений в нано - и субнанометровом диапазонах. Важнейшими параметрами, характеризующими наночастицы, наноструктуры, нанопокрытия являются размерные. В статье представлены новые типы кремниевых тест-объектов, обеспечивающих прослеживаемость методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, атомно-силовой микроскопии размерных измерений к единице длины в системе СИ.
Наноиндустрия #6/2012 В.Матвеев Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии
В статье приведена информация о прошедшей в Черноголовке 5-й школе по метрологии и стандартизации в наноиндустрии. В докладах показано состояние и развитие нанотехнологий в науке и технике, основным критерием которых стало повышение точности измерений на наноуровне. Приводятся сведения о современных приборах для измерительного контроля при проведении нанотехнологических операций.
Фотоника #2/2012 Лазерная интерференционная микроскопия для нанотехнологий Лазерная интерференционная микроскопия для нанотехнологий
Рассмотрены измерительные характеристики модуляционного интерференционного микроскопа МИМ-300. Инструмент предназначен для использования в производстве электронных компонентов, магнитных и оптических устройств хранения информации, в биотехнологических исследованиях.
eng
