Электроника НТБ #4/2013
А.Тюрин, И.Калапышина, М.Вьюгин
Акселерометры Analog Devices – исследование вибраций в трибоконтакте
Обсуждается разработанная в Национальном исследовательском университете информационных технологий, механики и оптики (НИУ ИТМО) (Санкт-Петербург) экспериментальная установка регистрации вибраций и виброускорений, возникающих при работе различных механизмов. Установка выполнена на основе акселерометров и электронных компонентов компании Analog Devices
Электроника НТБ #2/2013
И.Бармашов
Плазмохимическое травление в технологии изготовления МЭМС-датчиков
Благодаря разнообразной конструкции и назначению МЭМС стремительно входят в нашу повседневную жизнь. Можно сказать, что MEMС – это множество микроустройств самой разной конструкции и назначения, в производстве которых используются модифицированные технологические приемы микроэлектроники.
Электроника НТБ #1/2013
Д.Льюис, П.Шрейер
Новые МЭМС-микрофоны Analog Devices – рекордно низкий собственный шум
МЭМС-микрофоны уже в течение многих лет успешно применяются в различных устройствах. Они имеют ряд преимуществ – очень малый размер, низкое энергопотребление, стабильность работы при изменении температуры и др. Но аудиохарактеристики этих микрофонов до сих пор не отвечали требованиям ряда приложений – в первую очередь тех, где источник звука находится на большом расстоянии или где используется много микрофонов. Ситуация изменилась с появлением новых МЭМС-микрофонов компании с очень низким уровнем собственного шума.
Электроника НТБ #3/2012
А.Васильев, Е.Борисов
Производство МЭМС. Перспективы и решения
Производитель электроники, желающий применять МЭМС в своей продукции, пользуется услугами сторонних предприятий либо самостоятельно осваивает новые технологии. Сделать сотрудничество с партнерами максимально эффективным, организовать и обеспечить поддержку производства поможет экспертный центр, специализирующийся на МЭМС-технологиях.