Электроника НТБ #1/2020
В. Емельянов
Повышение устойчивости к стресс-миграции пленочных структур на основе алюминия в микроэлектронике
Описан способ повышения качества тонких пленок на основе алюминия, составляющих токопроводящий рисунок субмикронных полупроводниковых приборов и микросхем. Для исключения или минимизации дефектов на слое сплава алюминия формируется пассивирующий слой нитрида титана, способствующий нивелированию остаточных напряжений в структуре и улавливанию мигрирующих атомов алюминия, что существенно снижает процессы стресс-миграции в системе. DOI: 10.22184/1992-4178.2020.192.1.152.159
Наноиндустрия #6/2012
А.Алексеев
Развитие инфраструктуры наноиндустрии
Более пяти лет назад в Послании Федеральному Собранию Российской Федерации Президент России обозначил нанотехнологии как приоритетное направление науки и техники. ЗАО "НТО" последовательно проводит разработки по стратегически важным направлениям полупроводниковой наноиндустрии, обеспечивающим техническую и технологическую независимость России. Используя накопленный технологический опыт, а также новые возможности, "НТО" делает ставку на комплексную технологическую поддержку проектов заказчика
Наноиндустрия #3/2012
А.Алексеев
Новый подход к оснащению современным технологическим оборудованием
Инновационное развитие современных технологий, а также модернизация существующих производств требуют комплексного подхода к оснащению высокотехнологичным оборудованием.Преимущество на рынке сегодня имеют те производители, которые могут помочь конечному пользователю технически и технологически полностью сформировать проект. В рамках развития комплексного подхода к поставкам и предоставлению услуг заказчикам ЗАО "НТО" в сотрудничестве с ОАО "РОСНАНО" успешно реализовало проект по развитию собственной инфраструктуры, запустив в конце 2011 года в эксплуатацию собственную Прикладную лабораторию.