Электроника НТБ #2/2015
А.Новожилов, А.Сафонов
Микрофлюидные бумажные сенсоры – "Лаборатория на чипе"
Описаны методы изготовления и анализа микрофлюидных сенсоров на бумажной основе, позволяющие адаптировать их с учетом потребностей конечного пользователя и целей, которые должны быть достигнуты с их помощью.
Электроника НТБ #4/2011
В.Майская
МЭМС-резонаторы.Процесс пошел
Кварцевые резонаторы, появившиеся в 20-е годы прошлого столетия, с 1940-х годов поддерживают работу средств регулировки частоты бесчисленных электронных систем – от генераторов тактовых импульсов и обычных часов до радиостанций и мобильных систем связи, компьютеров и телекоммуникационных систем. Не имеющие себе равных по температурной стабильности кварцевые резонаторы до сих пор остаются последним критическим компонентом, который не интегрирован в кремниевую микросхему. С начала 1980-х годов специалисты в области микроэлектроники пытаются разработать пригодные для их замены резонаторы на основе МЭМС-технологии. Но создать МЭМС-резонаторы, не уступающие кварцевым элементам по температурной стабильности и рабочим характеристикам оказалось не просто. Не говоря уже о трудности их изготовления. В последние годы некоторые изготовители МЭМС-резонаторов смогли решить проблемы обеспечения высокой температурной стабильности и низкого энергопотребления, монтажа в корпус и интеграции с КМОП-схемами. И теперь можно ожидать, что МЭМС-резонаторы начнут активно заменять кварцевые элементы, реализуя такие преимущества, как малые габариты, низкая стоимость, высокие надежность, ударо- и вибропрочность.