Электроника НТБ #4/2021
В. Буслюк
ТЕХНОЛОГИЯ КРЕМНИЕВЫХ ДИОДОВ – ГЕНЕРАТОРОВ ШУМА
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.205.4.136.138 Предложена технология кремниевых диодов – генераторов шума со стабильной дислокационной структурой в зоне p-n-перехода, которая достигается посредством управления распределением неконтролируемых примесей путем оплавления лазерным пучком локальных зон с тыльной стороны пластин кремния.