Электроника НТБ #6/2020
И. Васильев
Особенности измерения удельного и поверхностного сопротивлений четырехзондовым методом
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.197.6.52.58 Приведен обзор современных методов измерения удельного и поверхностного сопротивлений, описаны преимущества и недостатки каждого из них, а также возможные способы устранения этих недостатков. В качестве готового решения представлены ручные и автоматические программно-аппаратные комплексы, которые способны решать различные задачи производства при измерении электрофизических параметров.