Электроника НТБ #6/2020
В. Андриянов, С. Сидельников, С. Горячкин
Привод вращения и перемещения затравки для установок выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского
DOI: 10.22184/1992-4178.2020.197.6.110.112 Рассмотрена конструкция привода вращения и перемещения затравки для установок выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Отмечено, что особенностями привода являются применение цилиндрического дифференциала в его кинематике, а также использование цепи в качестве гибкой подвески.