Электроника НТБ #6/2021
М. Макушин
СКАТТЕРОМЕТРИЯ И ПЕРСПЕКТИВНЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.207.6.44.53 Оптическая метрология критических размеров на основе скаттерометрии (OCD-скаттерометрия) – один из перспективных подходов поддержания рентабельности производства и необходимого уровня выхода годных.