Электроника НТБ #10/2021
Д. Суханов
ОПТИМИЗАЦИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СОВРЕМЕННОМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ. Часть 2
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.211.10.152.157 Рассмотрены гальванические процессы, применяемые в современном полупроводниковом производстве. Приведена информация о различных способах оптимизации таких процессов.
Электроника НТБ #9/2021
Д. Суханов
ОПТИМИЗАЦИЯ ГАЛЬВАНИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СОВРЕМЕННОМ ПОЛУПРОВОДНИКОВОМ ПРОИЗВОДСТВЕ. Часть 1
DOI: 10.22184/1992-4178.2021.210.9.86.93 Рассмотрены гальванические процессы, применяемые в современном полупроводниковом производстве. Приведена информация об основных принципах и способах оптимизации таких процессов.