Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "plasma deposition"

Электроника НТБ #5/2022
Г. Виноградов, К. Медников
XORS‑200А – БАЗОВЫЙ МОДУЛЬ ТРАВЛЕНИЯ ДЛЯ МАСС ОВЫХ ПРОИЗВОДСТВ 65–32 нм

DOI: 10.22184/1992-4178.2022.216.5.42.48 Разработанный компанией АО «НПП «ЭСТО» узкозазорный планарный модуль травления диэлектриков XORS‑200A представляет собой универсальный базовый реактор травления 200 мм для массового кремниевого производства с ключевыми параметрами уровня систем 300 мм и позволяет осуществлять как высокоаспектное травление диэлектриков, так и процессы мультипаттернинга.