Электроника НТБ #5/2022
Т. Михайлова, Т. Мясоедова, В. Пташник, А. Бут
РАЗРАБОТКА ИМПЕДАНСОМЕТРИЧЕСКОГО СЕНСОРА НА ОСНОВЕ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ДЛЯ ОБНАРУЖЕНИЯ ПАРОВ ЛЕТУЧИХ ОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.216.5.114.120 В статье представлены результаты исследования газовой чувствительности сенсоров на основе кремний-углеродных пленок, полученных простым в реализации методом электрохимического осаждения из растворов органических электролитов.