Электроника НТБ - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 1992-4178

Книги по электронике

Тег "струйная отмывка в вакууме"

Электроника НТБ #7/2022
Е. Набокова
СТРУИ В ВАКУУМЕ – РЕШЕНИЕ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

DOI: 10.22184/1992-4178.2022.218.7.134.138 Установка струйной отмывки в вакууме УСОТП-1, разработанная НПП «ПРОТОН», предназначена для технологической обработки (отмывки, ополаскивания, сушки) полупроводниковых пластин. Используется уникальная российская технология – «Струи в вакууме».