Электроника НТБ #9/2022
А. Наумов, В. Рязанцев
МИРОВЫЕ РЫНКИ ПОЛИКРЕМНИЯ И КВАРЦА НА СОВРЕМЕННОМ ЭТАПЕ И ПЕРСПЕКТИВЫ КОМПЛЕКСНОГО ПРОИЗВОДСТВА ЭТИХ МАТЕРИАЛОВ В РОССИИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2022.220.9.122.133 Проблемы получения поликристаллического кремния и особочистого синтетического кварцевого стекла возможно решить в одном проекте. Настоящая статья написана по материалам доклада авторов на научной конференции «Электронная компонентная база и микроэлектронные модули» Российского форума «Микроэлектроника 2022».