Электроника НТБ #2/2023
А. Видрицкий, В. Ланин
ВАКУУМПЛОТНАЯ ГЕРМЕТИЗАЦИЯ МИКРОБОЛОМЕТРОВ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.60.66 В статье описана разработка технологии герметизации корпусов микроболометров. Герметизация производится в высоком вакууме с использованием геттера, чем обеспечивается сохранение заданного уровня вакуума внутри корпуса микромеханического прибора в течение срока хранения и эксплуатации.