Электроника НТБ #2/2023
О. Почтарь, А. Почтарь
ОЦЕНКА СТАБИЛЬНОСТИ И ВОСПРОИЗВОДИМОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА МЕТАЛЛИЗАЦИИ ЧЕРЕЗ СВОБОДНУЮ МАСКУ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.223.2.72.76 В статье на основе статистической обработки экспериментальных данных представлена оценка стабильности и воспроизводимости технологического процесса двухслойной металлизации кристаллов ниобата лития через свободную металлическую маску методом электронно-лучевого испарения.