Электроника НТБ #3/2023
Я. Чжо, В. Масловский, К. Моисеев, И. Воробьев, М. Назаренко
ОСОБЕННОСТИ ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ МИКРОРАЗМЕРНОЙ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК ИЗ РАЗЛИЧНЫХ ТИПОВ КЕРАМИКИ
DOI: 10.22184/1992-4178.2023.224.3.110.115 Рассмотрены возможности метода электронно-лучевой обработки керамики. Приведены результаты экспериментальных исследований по обработке спеченной керамики ВК94-ДН и LTCC KEKO SK 47.